先进的 HPPES 系统
用于光电子能谱实验的研究平台，压力范围为 10-10mbar 至 50 mbar，样品温度可控。
PREVAC UHV-HP PES 系统是一种独特、性能卓越的分析平台，适用于最先进的高压光电子光谱分析。它配备了一台 HP 分析仪，但重点是高度灵活的样品环境，部分是新开发的、高度通用的气体池，部分是可以用完全不同的腔室设置替换分析室的可能性。
特征
- 定制设计，旨在以下领域的研究：
– XPS / UPS / ARPES / AES / EELS / ISS / IPES / LEIPS 技术 |UHV 条件
– HPXPS / APXPS / APUPS 技术 |环境压力条件 - 实验程序的完全自动化
- 回填配置
- 创新、多功能的气体池
- 回填和气室的混合解决方案
- 多功能性高 – 拆卸/更换 HP 细胞机械手、能量分析仪模块或分析室模块
- 高压半球能量分析仪 EA15-HP50 及设备
- 高压、高功率双阳极 X 射线源，带单色器 – AlKα & AgLα，带电源
- 高压、高功率双阳极、非单色 X 射线源 – AlKα 和 MgKα，带电源
- 带电源的 UV 源
- 带电源的泛洪源
- 用于深度剖析或清洁的离子源
- 电动或手动 4-6 轴机械手，带有接收站，温度LHe/LN 系列2最高 1400°C
- 不同的样品架尺寸：从 10×10 mm 到 1 英寸（可根据要求提供其他尺寸）
- 极限压力降至 10-10mbar，具体取决于泵的配置
- 泵送系统（基于备用泵，TMP和TSP带有冷冻盾牌）
- 全自动气体加样设置
- 带设备的真空计
- 样品架的 Load Lock 室
- 可靠、快速的线性传输系统，从负载锁到分析室
- Viewports – 观察窗口
- Bakeout 系统
- 系统的可调节刚性主机架
- 带电子单元的 19 英寸机柜
- 由 Spectrium 软件和 PLC 单元完全控制的分析过程和设备
描述
该站允许对气-固和气-液相互作用进行前沿研究。该系统配备了自动控制功能，允许许多不同的作员安全高效地作许多不同类型的样品。它提供完整的 PLC 保护和软件控制，包括机器状态的清晰可视化、数据采集以及所有集成设备、电源和辅助设备的控制。
该系统的核心是基于高压分析仪和 PREVAC 设计的气体单元概念的分析模块。HP 细胞纵器设计允许通过红外激光照明（样品池内可达到 800 °C 以上的样品温度）、电阻加热（高达 700 °C）和 LN 进行样品加热2冷却。
分析室配有 UHV 标准的连接法兰，用于连接当前和未来的设备，包括：
- 带设备的高压半球能量分析仪，
- 带电源的高压 X 射线双阳极单色源，
- 带电源的高压 X 射线双阳极非单色源，
- 带电源的 UV 单色光源，
- 带电源的紫外线源，
- 带电源的泛洪源，
- 带电源的电子源，
- 带电源的离子源，用于深度剖析或清洁，
- 带电源的气簇离子源，
- 样品调节器具有较宽的温度范围（从 LHe/LN2高达 1400°C）、
- 泵组（基于备用泵、TMP、离子泵和TSP，具有大面积LN2裹尸布）、
- 带设备的真空计，
- 用于线性传输系统的入口，例如从负载锁到分析室，
- 加载样品架的 Lock 室，
- viewports – 观察窗口，
- 残余气体分析仪。
该系统的模块化设计允许通过径向分布传输解决方案或传输隧道与任何其他研究平台进行组合和集成。最终的设计和功能取决于系统配置。
泵送系统是不同类型泵的组合，例如前级真空泵、离子泵、涡轮泵或具有大面积 LN 的钛升华泵2护罩，根据特定应用需求单独选择，以实现最佳泵送性能。
Spectrium 分析控制软件允许半球形能量分析仪和各种类型的源集成和完美协作，从而实现轻松的配方编写、自动测量控制和广泛的数据记录。允许基于 Tango 开源设备集成新的附加组件。
选项
- 带机械手的 HP 压力传感器
- 全自动混合室和 4 种气体加样设置
- 带电源的 UV 单色光源，
- 带电源的电子源
- 带电源的气体簇离子源
- 储藏室
- 径向分布室或传输隧道
- 真空手提箱（运输箱），在负载锁室中带端口
- 残余气体分析仪
- 高温计
技术
光电子能谱 （PES） 是一种实验技术，也是电子能谱的主要变体。该方法基于光电现象和对光电子动能分布的分析。发射的能量是表面样品受到电磁辐射激发的结果。
PES 技术是最常用的表面测试和薄层检查方法。它提供的信息包括：定量组成、原子键特性、层厚。基本过程（光效应）测量光子照射物质后产生的光电子发射。
包括分析 PES 技术：
- XPS – X 射线光电子能谱
- HAXPES – 硬 X 射线光谱
- UPS – 紫外光电子能谱
- ARPES – 角度分辨光电子能谱
其他技术：
- IPES – 逆光电子发光光谱
- LEIPS – 低能量逆光电子能谱
- AES – 俄歇电子能谱
- EELS – 电子能量损失谱
- ISS – 离子散射光谱
