离子源 IS 40E1
离子源 IS 40E1 – 双镜头、聚焦、萃取式离子枪。适用于深度剖深 （Ar），可与 O 等反应性气体配合使用2、 H2、碳氢化合物和所有惰性气体。源能够在建议的工作距离下栅格化 10 mm x 10 mm 的表面区域。它特别适用于 XPS、ISS 和 SIMS 中的深度剖析。该离子源还可用于样品表面清洁。
技术数据
| 安装法兰 | DN 40CF （可旋转） |
| 气体 | Ar 和反应气体 （O2、 H2使用寿命缩短的碳氢化合物） |
| 能量范围 | 0.15 keV – 5 keV |
| 扫描区域 | 10 mm x 10 mm（工作距离为 23 mm） |
| 电流密度 | 高达 4 mA / cm2（距离 23 mm） |
| 束流 | > 1 μA（距离 23 mm） |
| 阴极类型 | 氧化钇涂层铱丝 |
| 小锥角 | 50° |
| 插入长度 | 163 mm （标准）， 外径： 34 mm |
| FWHM （英语） | 取决于工作距离 （例如，距离为 23 mm 时< 150 μm） |
| 典型工作距离 | 23 – 120 毫米 |
| 烘烤温度 | 250 °摄氏度 |
| 工作压力 | 10-8mbar（最大束流） |
特征
- 特殊配置的鼻锥
- 使用惰性气体 （Ar） 和反应气体 （O作2、 H2，使用寿命缩短的碳氢化合物）
- 连续可变光斑尺寸
- 极其均匀的凹坑/光束轮廓
- 侧可更换灯丝
- UHV 进气口
- 在腔室中保持 UHV 条件
- 集成扫描和偏转装置
- 入射电子束角校正（由 IS40-PS 电源提供）
选项
- 维也纳质量过滤器
- 气体加注系统
- 线性偏移： 25， 50， 75， 100 mm
- 泵组（2 级）
- 真空计套装
