半球形能量分析仪 EA15-HP5
EA15-HP5 可在高达 5 mbar 的静态和动态环境中进行高分辨率 PES 测量。
描述
该分析仪总共配备了 11 个狭缝，并提供了在最佳能量分辨率和最佳强度之间进行选择的可能性。根据给定的光电子能量，分析仪最多可设置 8 个预定义的 PE，以满足客户的要求。
EA15 半球形能量分析仪可以直接由 LabVIEW 编程环境控制。
注意：
建议将 mu-metal 分析真空室或内部 mu-metal 屏蔽室与 PREVAC EA15-HP1 半球形能量分析仪结合使用，以最大限度地减少外部磁场的影响并最大限度地提高分析仪的性能。
套餐包括：
▪ EA15-HP5 150 mm 半球形能量分析仪，
▪ RUDI-EA2 高稳定和低噪声电子设备，
▪用于 Windows作系统计算机系统的 SPECTRIUM 采集和分析仪控制软件，
▪计算机套装。
技术数据
| 安装法兰 | 公称直径 100 CF |
| 烘烤温度 | 最高 120 °C |
| 工作距离 | 1-2 mm （取决于锥体开口） |
| 分析器平均半径 | 150 毫米 |
| 传递能源 XPS XPS/UPS & XPS/UPS/ARPES* | 20、50、100、200 eV |
| 能量分辨率 XPS XPS/UPS & XPS/UPS/ARPES* | < 20 meV FWHM |
| 动能范围 | 0.5 – 3000 伏 |
| 采集模式 | 固定， 扫描 |
| 透射和角度镜头模式： ▫镜头接受角（透射模式） | +/- 15° |
| IRIS 光圈 | 从 1 mm 到 32 mm |
| 完全由非磁性材料设计 | |
探测器
• MCP-CCD 探测器
– 直径 40 mm 的双 MCP 探测器
– 656 个能量通道同时可用
– 494 个角度通道同时可用
– 90 fps
• 7-MCD 探测器（用于 UHV）
• Detektor DLD（用于 UHV）
– 固定模式下的最大能量窗口：~17% 的通过能量
– 直径为 56 mm 的探测器，带 7 个通道加速器
– 施加电压：2.5-3.5 kV
选项
用于 EA15-HP5 的泵送系统 3 级泵送系统，配有所有必要的泵、压力测量系统和附件，使分析仪能够在要求的压力范围内工作（从 UHV 到 5 mbar）。
系统包括：
- 分析仪泵送系统第 1 级（镜头）
- HiPace 300 涡轮分子泵（N 型泵的抽速为 260 l/s）2)
- VAT 闸阀 DN 100CF – 用于 TMP 泵的 el-pneumatic
- nXDS6i Edwards 前级真空干泵（标称抽速 6 m3/h）
- 管材和布线，
- 自动安全阀和排气阀，
- 分析仪泵送系统的第二级（透镜）
- HiPace 300 涡轮分子泵（N 型泵的抽速为 260 l/s）2)
- VAT 闸阀 DN 100CF – 用于 TMP 泵的 el-pneumatic
- 自动安全阀和排气阀，
- 分析仪泵送系统的第 3 级（半球）
- HiPace 300 涡轮分子泵（N 型泵的抽速为 260 l/s）2） 带 reducer
- VAT 闸阀 DN 63CF – 用于 TMP 泵的 el-pneumatic
- nXDS6i Edwards 前级真空干泵（标称抽速 6 m3/h）
- 管材和布线，
- 自动安全阀和排气阀，
- 真空计
- 3 个皮拉尼真空计 TTR91N，用于前级真空，
- 3x PTR90N – 宽量程表
- 用于控制泵送系统（前级真空泵、UHV 泵、阀门和真空计）的电子微处理器装置。该装置包括多个联锁装置，用于在停电或组件发生故障时保护真空系统。
- 分析室和分析仪之间的旁路：管道和安全阀
