描述
定制的多室 UHV 系统(EMIL)，用于在硅薄膜沉积集群、SISSY@EMIL 终端站和其他分析工具、沿样品传输系统和径向分布室位于的负载锁定和存储室之间传输。硅薄膜沉积簇通过处理器传输室、样品分离室、模块化超高真空样品传输系统和径向分布室连接到 SISSY@EMIL 终端站。
规格
EMIL 多室系统专注于材料研究，以实现未来可持续、经济和安全的能源供应。EMIL 致力于对用于能量转换、能量存储和能源效率的材料和设备进行最先进的合成以及原位和操作中 X 射线分析。EMIL 的工作将涵盖从基础和应用材料科学到技术和原型开发到工业研究的范围。EMIL 的研究将涵盖广泛的能源相关主题，包括光伏 (PV)、太阳能燃料、生物质到液体燃料、热电材料、电池电极材料、储氢、化学工业的节能催化剂等过程随着氨的生产，随着外部用户和工业将在 EMIL 进行研究，新领域将得到发展。
EMIL 将用于各种材料类别的多种合成和沉积技术与基于同步加速器的复杂分析相结合，该分析可以在纳米尺度上以横向和深度分辨率探测薄层和界面特性。有前景的方法是在一个专用真空系统中将不同的基于同步加速器的 X 射线表征技术与相关的沉积和后处理能力相结合。
EMIL 的设计使其可以为多达三个实验终端站提供服务，每个终端站都可以同时访问 80 eV – 10 keV 非常宽的能量范围内的软和硬 X 射线，并且在一个集成的超- 高真空系统。此外，粉红色光束终端站计划为色散 X 射线发射光谱 (XES) 启用 2-10 keV 光子的高通量源。
- 由RAPID SE操作的全自动传输系统
- 17个室，其中4个径向分布室
- 为 10x10mm 至 6 英寸的样品准备
- 温度范围广 – 从 LN 2级到 1450 o C
- 传输过程中的基本压力 10 -10 mbar
- 可存放 65 个样品架
