带有 UHV 表面制备和分析模块的 UHV 样品制备设施的样品传输系统。
传输系统
Flag Style 样品架，“穿梭车”。
系统配置
– 径向分布室，用于在 UHV 条件下在连接的室之间转移样品 – 半机动
– 穿梭传送模块 – 允许传送特殊类型的样品架 – 穿梭
– 制备室包括：
- 用于样品清洁的离子溅射源
- 刀片切割器
- 刮刀
- 穿梭加热台
- 可存放 5 辆班车
- 旋转驱动
– 快速进入装载锁室 – 允许装载两个梭
– 垂直传送通道 – 允许在两个腔室之间传送两个穿梭机
– 特高压表面处理和分析模块，包括：
– 配件：
- 样品架组
- 烘烤系统
- 适用于所有电子单元的 19″ 机架式机柜
- 支撑架
- LED照明
