波兰PREVAC分析系统 XPS 系统

描述

专为 X 射线光电子能谱 (XPS) 设计的分析室，与用于薄膜
沉积的多室真空系统集成。

系统配置

• 带有升华泵和可选 TMP 的 mu-metal 分析室
• 五轴机械手
• 探测器 XPS/UPS/ARPES
• 带单色器的 X 射线源
• 紫外线源
• 电子源
• 离子源
• 映射
• 带 TMP 泵送系统的分配室
• 负载锁定室
• 储藏室
• 烘烤系统
• 所有电子产品的机柜
• 软件