描述
用于研究新型催化剂材料的物理和化学性质的定制多室 UHV 系统。
规格
多室（分析和制备）系统在真正的 UHV 条件下（压力低于 10 -10毫巴）在室之间进行线性样品传输。分析室中的基础压力 < 5*10 -11 mbar。催化反应可以在高达 2000 毫巴（包括 2000 毫巴）的压力下进行，快速抽空并转移到分析室。
- 集成不同表面分析方法的球形多技术分析室：单色X射线光电子能谱（MXPS）、单色紫外光电子能谱（UPS）和光电子发射显微镜（PEEM）。样品定位是通过一个非常稳定、高精度的 5 轴机械手进行的，机械手有两个电动旋转轴，用于自动角度映射。样品接收站配备了 LN 2低温恒温器，允许温度在 -180°C 至 1000°C 范围内变化（取决于样品架型号）。该腔室由 mu-metal 制成，并配备了一个带 2D 探测器的半球分析仪、一个单色 X 射线源、UV 源、单色器和一个 40 nm 分辨率的 PEEM
- 结合磁悬浮涡轮分子泵、离子泵和钛升华泵的特高压真空系统。表面分析室和制备室可以独立烘烤。半球分析仪安装在水平位置
- 安装在分析室上方的球形制备室配有离子源、质谱仪、电子束蒸发器、气体加料器和几个用于未来扩展的端口
- 用于样品加热（高达 650°C）和在压力高达 2000 mbar 的受控气体环境中冷却的高压反应器
- 用于 6 个样品架的样品停放室
- 负载锁室
