波兰PREVAC分析系统 特高压分析系统

专用于正电子湮没和表面分析的分析 UHV 系统。

传输系统：

PTS 样品架。

系统配置：

– 基础压力范围为 10 ^-10 mbar 的分析室包括：

• 5轴全电动机械手
• 电子能量分析仪 XPS/UPS/ARPES
• 用于 XPS 测量的单色 X 射线源
• 带有用于 UPS 测量的专用泵系统的单色 UV 源。
• 用于深度分析的离子源
• 其他组件的额外自由端口

– 带设备的离子辐照室

– 加载锁定室允许加载 PTS 样品架

– 用于在 UHV 压力下在腔室之间传输样品的线性传输

– 配件：

• 一套专用、多功能、多材料样品架
• 所有电子单元的特殊机架
• 特殊设计的烘烤系统
• 工具包