波兰PREVAC分析系统 多室特高压系统

多室特高压系统。

传输系统

PTS 样品架。

系统配置

– 两级制备室：

• 具有 LN2 冷却和可加热至 2000°C 的高精度 5 轴机械手
• LEED/螺旋钻
• 电子束蒸发器
• 沉积速率测量系统：石英平衡和厚度监视器
• 电子束蒸发器
• 气体加药系统

– 径向分布室，用于在特高压条件下在连接室之间转移样品

– 分析室：

• 具有 LN2 冷却和可加热至 1200°C 的高精度 5 轴机械手
• 电子分析仪 XPS/UPS
• 用于 XPS 测量的双阳极 X 射线源
• 带有用于 UPS 测量的专用泵系统的 UV 源
• 电子源
• 带专用泵送系统的离子源用于深度分析

– 负载锁定室

– STM室

– 配件：

• 样品架组
• 烘烤系统
• 适用于所有电子单元的 19″ 机架式机柜
• 支撑架
• LED照明