多室特高压系统。
传输系统
PTS 样品架。
系统配置
– 两级制备室：
– 径向分布室，用于在特高压条件下在连接室之间转移样品
– 分析室：
- 具有 LN2 冷却和可加热至 1200°C 的高精度 5 轴机械手
- 电子分析仪 XPS/UPS
- 用于 XPS 测量的双阳极 X 射线源
- 带有用于 UPS 测量的专用泵系统的 UV 源
- 电子源
- 带专用泵送系统的离子源用于深度分析
– 负载锁定室
– STM室
– 配件：
- 样品架组
- 烘烤系统
- 适用于所有电子单元的 19″ 机架式机柜
- 支撑架
- LED照明
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