用于测量超薄薄膜吸附/解吸的独立超高压装置，能够在宽温度范围内进行高精度温度控制。
特性
•基础压力1×10-9毫巴
•配备快速PTS样品架装载系统的TPD/TDS室
•特殊设计的锥形取样端件
•在宽温度范围（-170°C至1200°C）内进行高精度温度控制
•TDS的计算机控制数据采集和处理软件
•两个PTS样品架的装载锁室
•从装载锁到TPD室的可靠快速线性传输系统
选项
•机械手的额外运动轴和完全机动化
•通过精确的PLC压力控制，可以将压力范围从特高压扩展到1个大气压
•气体加药系统（手动或精确PLC控制）
•溶剂加药系统
•专用于在腐蚀性环境中工作的样品架
•装载锁的加热和液氮冷却选项
•样品制备专用室
•不同质量范围的残余气体分析仪
