Quartz Balance QO 40A1 石英天平 QO 40A1在沉积过程中提供涂层厚度的实时、渐进指示,以实现涂层生产的高精度和可重复性。
描述
可以监测蒸发和溅射镀膜的厚度。传感器头是一个水冷的非磁性外壳,永久地放置在真空系统中。晶面与水冷馈通管平行。石英天平QO 40A1安装在DN 40CF法兰上,带有两根Ø6管和Microdot S-50同轴连接器。定制插入长度130-500毫米(根据要求提供其他插入长度)。
特性
集水传感器头
易于更换的石英
选项
定制插入长度
有或没有集成手动/电动气动百叶窗不同的安装法兰(例如DN 40 KF)
根据要求提供其他石英天平几何形状(例如垂直头几何形状)
线性移位
技术参数
Mounting flange | DN 40CF (rotatable) |
Max. operation temperature | up to 300°C (with water cooling) |
Water cooling (required) | water flow > 0.5 l/min temperature: 20 – 30 °C max pressure: 6 bar |
Crystal frequency | 4.8 – 6 MHz, 14 mm diameter (industry standard) |
Insertion length | dependent on specification and geometry of the chamber |
Bakeout temperature | up to 150 °C |