波兰 PREVAC Effusion cell EF 40C1 蒸发源EF 40C1

EF 40C1蒸发源(Knudsen池)是一种设计用于间接电阻加热并提供高度恒定蒸发速率的源。定制插入长度114-380毫米(根据要求提供其他长度)。

特性

极其稳定的通量率
各种坩埚材料
高度可重复性和可靠性
适用于任何MBE系统
无钼结构(允许高放气温度)
整体水冷

选项

定制插入长度
有或没有集成手动/电动气动快门
线性移位
坩埚
C或K型热电偶

技术参数

Mounting flangeDN 40CF (rotatable)
HeaterW wire (tungsten)
Temperature rangeEF 1500 °C  (~250 °C – 1500 °C, 1600 °C for degas)
EF 1200 °C  (~250 °C – 1200 °C)
Temperature stability± 0.1°C
Crucible type (option)PBN, Al2O3, Quartz (other materials on request)
Crucibles volume5cc
Evaporated materialsAll typical materials according to crucible type
Thermocouple typeEF 1500 °C  – type C (standard)
EF 1200 °C  – type K (option)
Degassing temp.1600 °C
Type of shutterside or flip type, manual or pneumatic
Water cooling (required)water flow: > 0.5 l/min, temperature: 20 – 30 °C, max pressure: 6 bar
Insertion lengthmin. 114mm (other on request) OD: 35 mm
Spot sizeDependent on working distance
Working distance100 – 150 mm
Bakeout temperatureup to 250 °C
Working pressure< 10-5 mbar

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