电子束流监测器 能够测量MBE应用中的束流等效压力（BEP）。
描述
它通常安装在线性移位/z台上，以允许灯丝靠近基板，并在待机位置时包括一个保护罩。
读数和完全控制（设备状态、Z轴移动）由专用软件应用程序和离子多表控制器提供。应用程序可以与Synthesium（先进的沉积软件工具）集成。
特性
BEP测量
离子电流测量[nA单位]
选项
机动化
定制插入长度
技术参数
| Mounting flange | DN 63CF (non-rotatable) |
| Measurement system | Bayard-Alpert ion gauge |
| Measurement range | 10-3 to 2×10-11 Torr |
| Linear stroke | 150 mm (other on request) |
| Max. outer diameter | 63 mm |
| Filament | dual filament, ytrium coated iridium |
| Controller | 3 channel MG15 – communication interface: RS232/485, Ethernet, PROFINET (option – specify at order) |
| Bakeout temperature | up to 200 °C |
