波兰 PREVAC, 传输系统,线性传输,设计用于在 UHV 条件下在腔室之间运输样品架/样品。
设计用于在 UHV 条件下在腔室之间运输样品架/样品。
它们通常用于将样品从负载锁室转移到 UHV 系统主室。线性输送由研究平台泵送系统泵送,或者使用专用泵组进行泵送。传输机构的整个运动范围都是通过旋转运动馈通实现的。传输运动的范围为 450 至 1600 毫米。
有两种类型的线性传输可用:
• 1 轴 – 仅向前移动,
• 2 轴 – 向前移动并围绕运动轴连续旋转。
波兰 PREVAC, 传输系统,线性传输,设计用于在 UHV 条件下在腔室之间运输样品架/样品。
设计用于在 UHV 条件下在腔室之间运输样品架/样品。
它们通常用于将样品从负载锁室转移到 UHV 系统主室。线性输送由研究平台泵送系统泵送,或者使用专用泵组进行泵送。传输机构的整个运动范围都是通过旋转运动馈通实现的。传输运动的范围为 450 至 1600 毫米。
有两种类型的线性传输可用:
• 1 轴 – 仅向前移动,
• 2 轴 – 向前移动并围绕运动轴连续旋转。