EA15-HP5 允许在高达 5 mbar 的静态和动态环境中进行高分辨率 PES 测量。
该分析仪总共配备了 11 个狭缝,可以在最佳能量分辨率和最佳强度之间进行选择。根据给定的光电子能量,分析仪设置了多达8个预定义的PE,以满足客户的要求。
EA15半球形能量分析仪可由LabVIEW编程环境直接控制。
注意:
建议将μ金属分析真空室或内部μ金属屏蔽室与PREVAC EA15-HP1半球形能量分析仪结合使用,以最大程度地减少外部磁场的影响并最大限度地提高分析仪的性能。
套件包括:
- EA15-HP5 150毫米半球形能量分析仪,
- RUDI-EA2高稳定和低噪声电子,SPECTRIUM采集和分析仪控制软件,
- 用于Windows操作系统计算机系统,
- 计算机套装。
技术规格:
安装法兰 | DN 100 CF |
烘烤温度 | 最高 120 °C |
工作距离 | 1-2 毫米(取决于锥体开口) |
分析仪平均半径 | 150 毫米 |
传递能量 XPS XPS/UPS & XPS/UPS/ARPES* | 20, 50, 100, 200 eV1, 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200 eV |
能源分辨率 XPSXPS/UPS & XPS/UPS/ARPES* | < 20 meV FWHM< 3 meV FWHM |
动能范围 | 0.5 – 3000 eV |
采集模式 | 固定,扫描 |
透射和角度镜头模式: ▫镜头接受角度(透射模式) | +/- 15° |
光圈光圈 | 从 1 毫米到 32 毫米 |
完全由非磁性材料设计 |
探测器:
- MCP-CCD 探测器
– 40 mm 直径双 MCP 探测器
– 656 个能量通道同时可用
– 494 个角度通道同时可用
– 90 fps - 7-MCD 探测器(用于特高压)
- Detektor DLD(用于 UHV)
– 固定模式下的最大能量窗口:~17% 通过能量
– 56 mm 直径探测器,带 7 个通道加速器
– 施加电压:2.5-3.5 kV
选项:
EA15-HP5
3级泵送系统的泵送系统,带有所有必要的泵,压力测量系统和附件,使分析仪能够在要求的压力范围内工作(从UHV到5毫巴)。系统包括:
- 分析仪泵送系统第一级(透镜)
- HiPace 300 涡轮分子泵(N 的抽速为 260 l/s2)
- 增值税闸阀 DN 100CF – 用于 TMP 泵的气动阀
- nXDS6i 爱德华兹前真空干泵(标称抽速为 6 m3/h)
- 油管和布线,
- 自动安全阀和排气阀,
- 分析仪泵送系统第二级(透镜)
- HiPace 300 涡轮分子泵(N 的抽速为 260 l/s2)
- 增值税闸阀 DN 100CF – 用于 TMP 泵的气动阀
- 自动安全阀和排气阀,
- 分析仪泵送系统第三级(半球)
- HiPace 300 涡轮分子泵(N 的抽速为 260 l/s2) 带减速器
- 增值税闸阀 DN 63CF – 用于 TMP 泵的气动阀
- nXDS6i 爱德华兹前真空干泵(标称抽速为 6 m3/h)
- 油管和布线,
- 自动安全阀和排气阀,
- 真空计
- 3x 皮拉尼真空计 TTR91N,用于前真空,
- 3x PTR90N – 宽量程仪表
- 用于控制泵送系统的电子微处理器设备(前真空泵、特高压泵、阀门和真空计)。该装置包括多个联锁装置,用于在电源故障或其组件发生故障时保护真空系统。
- 分析室和分析仪之间的旁路:管道和安全阀