光束通量监测器可以测量 MBE 应用中的光束等效压力 （BEP）。
它通常安装在线性移位/ z级上，以允许灯丝靠近基板定位，并在处于待机位置时包括保护罩。
读数和完全控制（设备状态，Z轴移位）由专用软件应用程序和Ion多仪表控制器提供。应用程序可以与Synthesium集成 – 先进的沉积软件工具。3
技术数据
| 安装法兰 | DN 63CF（不可旋转） |
| 测量系统 | 贝亚德-阿尔珀特离子计 |
| 测量范围 | 10-3至 2×10-11托 |
| 线性行程 | 150 mm （其他应要求提供） |
| 最大外径 | 63 毫米 |
| 灯丝 | 双丝，钇涂层铱 |
| 控制器 | 3 通道 MG15 – 通信接口：RS232/485、以太网、PROFINET（选件 – 按订单指定） |
| 烘烤温度 | 最高 200 °C |
特征：
- 最佳环保值测量
- 离子电流测量 [nA 单位]
选项：
- 机动化
- 定制插入长度
