Polygon Physics HEXAR | Broad Beam ECR source 宽束离子源

HEXAR 是一款宽束离子源,专为真空环境下的表面处理而设计。

HEXAR 是一种可扩展的概念,能够制造出适用于处理各种表面尺寸的离子源。

典型应用包括离子束蚀刻表面清洁离子辅助沉积离子束溅射沉积

原理

HEXAR 由微型微波腔的六边形排列组成,每个微型微波腔在超低射频功率(每个腔在 2.45GHz 频率下功率为几瓦)下进行电子回旋共振(ECR)放电。这种方法之所以成功,是因为 ECR 等离子体具有可靠性和稳定性,而且该源没有耗材。此外,它能够以标准宽束源无法实现的方式控制束流的电流密度分布。通过气流、光学元件和施加的射频功率的组合,电流密度分布的形状和幅度都可以改变。

 

可扩展技术

HEXAR 基于一个可扩展原则:可处理的表面积会随着所使用的腔室数量增加而增大。如果您对更大表面的离子处理感兴趣,请联系我们。您也可以查看我们的定制束流解决方案页面,了解我们的多腔室方法所带来的其他可能性。

非导电基底离子处理用中和器

可使用中和器来避免表面电荷积累。Polygon Physics 公司提供一款基于电子回旋共振(ECR)的电子源作为中和器,该中和器无需灯丝等耗材。此中和器采用与 HEXAR 相同的紧凑型 ECR 技术,由单个微波腔构成,其功率足以完全抵消正离子电流。

 

应用

不同的应用需要不同的束流特性。HEXAR 宽束电子回旋共振源可以通过调整束流光学系统以及改变每个腔室所施加的射频功率,来满足不同的应用需求。而且,在设计初期,还可以通过改变构成离子源的腔室数量,针对特定的样品尺寸进行定制。典型的应用包括:
・蚀刻
・清洗
・表面改性
・离子辅助沉积

・离子束溅射沉积

 

技术数据

源模块配备 19 英寸机架式电子设备、SMA 和高压电缆、电源线以及 USB 软件。不包括源气体、源冷却系统(世伟洛克 6 毫米)和个人电脑。HEXAR 可根据您的特定需求定制。