Polygon Physics 应用 Ion beam figuring (IBF) 离子束修形（IBF）
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用于表面误差的擦除工具
在离子束修形中，目标是通过局部溅射原子来创建具有特定轮廓的表面。这是一种可用于对光学元件（如透镜和反射镜上的球面、非球面和自由曲面）进行精确修形和精加工的技术。离子束修形通常是机械抛光后的最后一道加工工序。
离子束修形：
其工作原理是什么 在离子束修形中，通过使离子束以不同速度在工件上进行光栅扫描来获得所需的轮廓。通过控制离子束在不同位置的驻留时间，可以非常精确地去除材料。成功的离子束修形能够纠正表面误差，而不会产生亚表面损伤或表面粗糙化，也不会在表面引入杂质。为了实现有效的离子束修形（IBF），离子束应非常稳定，并且至少能提供几毫安每平方厘米的电流密度。
离子束修形与多边形物理
束流参数灵活性 理想情况下，在不损坏周围及底层材料的前提下消除表面误差。影响这一点的重要因素包括束流大小、形状及其能量。我们的电子回旋共振（ECR）技术和离子光学系统为用户在这些参数方面提供了极为实用的灵活性，以控制表面损伤。
无杂质
显然，也希望离子束流加工（IBF）过程不会对表面造成任何污染。当离子源配置有栅极和 / 或束流限制光阑时，可能会引入杂质。栅极和光阑可用于引出离子束并对其进行整形，它们位于束流路径上。当离子束撞击这些栅极或束流限制光阑时，可能会溅射栅极或光阑边缘。这些溅射出来的物质随后可能会污染被处理的表面。我们的离子源可以使用孔径电极，束流路径不会受到阻碍，因此无杂质。
束流稳定性
离子束 figuring（IBF）中的第三个因素是束流稳定性和可靠性。对于使用热灯丝运行的离子源来说，这可能是个棘手的问题。我们在离子源中使用的技术并不依赖热灯丝，而是基于电子回旋共振（ECR）等离子体。ECR 等离子体本质上具有稳定性和可靠性，因此从这个意义上讲，它适用于离子束 figuring。
TES | 用于离子束 figuring（IBF）的离子铣
除上述理由外，我们的离子铣非常适合用于修正较小表面误差的离子束 figuring，原因如下：・可提供约 10 毫安 / 平方厘米的电流，最大总电流为几百微安・只需通过柔性电缆连接到法兰，即可安装在真空系统内的任何位置・结构紧凑且易于使用（无需进行微波调谐等操作）
