Polygon physics TES63 ECR离子源、TES单腔式ECR等离子体源、ECR离子源、Polygon physics离子源、Polygon physics TES63离子源

TES单腔式ECR等离子体源
Polygon Physics公司的TES是紧凑型ECR离子源系列，专为超高真空（UHV）或高真空（HV）环境下的表面科学与处理设计，可产生离子、等离子体、电子或原子束流。凭借可选的多种引出系统及可定制化束流光学配置，TES是真正的多功能离子源解决方案。

应用：

刻蚀
溅射
成形加工
质谱分析
加速器
束流传输线
电子化学

优势
高亮度系统
高功率电子束
长期稳定性
结构紧凑
连续波/脉冲双模式
免维护、无灯丝、无需冷却
即插即用
独立电子机架系统

TES-63	electrons	ions	ions-high brightness	ions-scanner
Applications	Electron chemistry (down to 100 V) / High power e-beam up to 1.5 kW	Beam line, accelerator, mass spectroscopy, sputtering	Beam line, accelerator, mass spectroscopy, etching	Etching, Figuring
Energy range	100 V – 15 kV	0.5 – 15 kV	0.5– 15 kV	0.5 – 15 kV
Current		0.1 to 5 µA – typ. with 0.3 mm extractor 10 to 500 µA – typ. with 3 mm extractor	0.3 to 300 µA	10 to 500 µA
Beam size (typ. @ 10 cm from Einzel)	Energy and focus dependent	0.3 -30 mm	0.5-5 mm	0.3 to 5mm
Insertion depth	from 150 mm or longer on demand	from 150 mm or longer on demand	300 mm with Einzel	360 mm with Einzel and scanner

Polygon physics TES63 ECR离子源、TES单腔式ECR等离子体源、ECR离子源、Polygon physics离子源