TES单腔式ECR等离子体源
Polygon Physics公司的TES是紧凑型ECR离子源系列，专为超高真空（UHV）或高真空（HV）环境下的表面科学与处理设计，可产生离子、等离子体、电子或原子束流。凭借可选的多种引出系统及可定制化束流光学配置，TES是真正的多功能离子源解决方案。
应用
加速器
质谱分析
表面改性
电子化学
优势特点
高亮度系统
大功率电子束
长期运行稳定性
连续波/脉冲双工作模式
免维护设计（无灯丝/无需冷却）
即插即用CF100接口
可定制独立电子机架系统
| TES-100 | electrons | ions | ions-high stability |
|---|---|---|---|
| Applications | Electron chemistry (down to 100 V) High power e-beam up to 1.5 kW | Accelerator, mass spectroscopy, surface modification | Accelerator, mass spectroscopy |
| Energy range | 100 V – 30 kV | 5 – 30 kV | 0.5 – 30 kV |
| Energy spread | – | 1% @30kV | 3 10-⁴ @30kV |
| Current | – | 3 to 30 µA – typ. with 1 mm extractor 30 to 300 µA – typ. with 3 mm extractor | 0.5 to 5 µA – typ. with 0.3 mm extractor |
| Beam size | Energy and focus dependent | 0.5 -20 mm | 0.5 -3 mm |
| Insertion depth | from 169 mm or longer on demand | from 169 mm or longer on demand | from 169 mm or longer on demand |
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智能控制监测软件系统
该电子源配备人性化的控制监测界面，可实时调控电子束参数、自动记录实验数据并执行预设工艺配方。同时提供Labview驱动程序，实现与第三方系统的无缝集成。
