PiezoMotor真空执行器半导体纳米级驱动电机Piezo LEGS® LTC450

450 牛顿的推力，适用于真空环境的直线执行器
Piezo LEGS® LTC450 具备纳米级的精度，其负载能力为 450 牛顿，行程长度为 20 毫米。
半导体行业所需的亚纳米级精度

Vacuum capable 具备真空功能
450 N force 450 牛顿的力
Resolution down to sub-nanometer
分辨率可达到亚纳米级别
20 mm stroke 20 毫米的行程长度
Self-locking 自锁功能
No backlash 无背隙

真正的直接线性驱动方式
这种驱动技术属于直接驱动方式，也就是说，无需依靠齿轮或丝杠来产生线性运动。电机通过微步驱动来移动，即将一个完整的波形步长划分为纳米级的微小单位。其转速范围可从每秒纳米级到每秒毫米级不等，而且在整个转速范围内都可以实现无缝控制，无需改变驱动方式。
这种驱动技术属于直接驱动方式，也就是说，无需依靠齿轮或丝杠来产生线性运动。电机通过微步驱动来移动，即将一个完整的波形步长划分为纳米级的微小单位。其转速范围可从每秒纳米级到每秒毫米级不等，而且在整个转速范围内都可以实现无缝控制，无需改变驱动方式。
该装置采用直接驱动方式，没有反向间隙，能够实现亚纳米毫米级的精确微调。专为真空环境设计。
其最大作用力超过 450 牛顿，这种断电锁定安全功能是该设计的固有特性。
技术规格：Piezo LEGS® LTC450 重型直线执行器

LTC450 的电机性能表现
采用菱形波形（实线）和三角形波形（虚线）时的电机性能表现。完整步长指的是：当电机完成一个完整步进时，驱动杆移动的平均距离——也就是一个波形周期内的移动距离。

注意：应考虑 0.5 微米的标准偏差σ。
所给出的数值均为 20ºC 条件下的典型值。
控制电机运转

左侧为 PMD401 控制器，右侧为 PMD301 控制器。
我们的电机控制单元有多种不同版本，既有适用于实验室使用的控制器和放大器，也有适合集成到原始设备制造商产品中的型号。
对于那些希望自行开发驱动器电路的客户，我们也可以提供相应的驱动程序许可。