PiezoMotor Piezo LEGS® LT20 线性执行器20N纳米真空压电电机

20N 非磁性、可在真空环境中使用的超高精度直线执行器

- 20 N force 20 牛顿的力
- Non-magnetic 非磁性材料
- Vacuum capable 具备真空功能
- Nanometer precision 纳米级精度
- Direct drive – backlash free
直驱式设计——无反向间隙 - No power draw in hold position
处于保持位置时不会消耗电能 - Quick response and high speed dynamics
响应迅速,动作快捷
Piezo LEGS® LT20 线性执行器
LT20 线性电机适用于各种 OEM 应用场景。其设计理念着重于便于集成。凭借极高的运动速度和纳米级的精度,该电机非常适合各种应用需求。
该电机非常适合用于需要移动或保持位置的场合,也适用于自动调节功能。在保持位置时,该电机不消耗任何电能。其驱动方式十分直接,无需齿轮或丝杠来实现直线运动。该电机没有机械间隙或反向力。LT20 直线电机有标准型、真空型以及非磁性真空型三种规格可供选择。
它非常适合用于半导体制造设备中,可用来进行晶圆切割和抛光、光刻处理、离子注入以及晶圆检测和测量等工作。
Piezo LEGS® LT20 被广泛应用于医疗技术领域,可用于药物输送系统、外科手术工具、机器人设备、诊断与成像设备,以及医疗物资的搬运处理。

