PiezoMotor Piezo LEGS® LT20 线性执行器20N纳米真空压电电机

PiezoMotor Piezo LEGS® LT20 线性执行器20N纳米真空压电电机

20N 非磁性、可在真空环境中使用的超高精度直线执行器

  • 20 N force  20 牛顿的力
  • Non-magnetic  非磁性材料
  • Vacuum capable  具备真空功能
  • Nanometer precision  纳米级精度
  • Direct drive – backlash free
    直驱式设计——无反向间隙
  • No power draw in hold position
    处于保持位置时不会消耗电能
  • Quick response and high speed dynamics
    响应迅速,动作快捷

Piezo LEGS® LT20 线性执行器

LT20 线性电机适用于各种 OEM 应用场景。其设计理念着重于便于集成。凭借极高的运动速度和纳米级的精度,该电机非常适合各种应用需求。
该电机非常适合用于需要移动或保持位置的场合,也适用于自动调节功能。在保持位置时,该电机不消耗任何电能。其驱动方式十分直接,无需齿轮或丝杠来实现直线运动。该电机没有机械间隙或反向力。LT20 直线电机有标准型、真空型以及非磁性真空型三种规格可供选择。
它非常适合用于半导体制造设备中,可用来进行晶圆切割和抛光光刻处理离子注入以及晶圆检测和测量等工作。
Piezo LEGS® LT20 被广泛应用于医疗技术领域,可用于药物输送系统外科手术工具机器人设备诊断与成像设备,以及医疗物资的搬运处理

Piezo LEGS® LT20 的主要尺寸参数


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