PiezoMotor 15N线性压电执行器驱动压电驱动器纳米定位平台
用于平台装置的 15N 线性压电执行器
具备真空环境适用性且不具磁性
用于直线运动平台的电机
直驱式设计——无反向间隙
纳米级分辨率
体积小巧，但力量输出与体积之比极佳。
处于保持位置时不会消耗电能
快速响应与高速度处理能力
真空或非磁性真空状态
Piezo LEGS® LS15 压电执行器
Piezo LEGS LS15 线性电机适用于各种 OEM 应用场景。其设计重点在于便于与各种舞台装置相集成。凭借极高的运动速度和纳米级的精度，该电机非常适合各种应用需求。
LEGS 技术的突出特点在于其极高的精度。此外，该技术还具有体积小、响应速度快以及使用寿命长等优点。再加上纳米级的分辨率，使得这项技术显得尤为独特。
该电机非常适合用于需要移动或保持位置的场合，也适用于线性运动装置的自动调节。当电机处于保持位置时，不会消耗任何电能。该电机的驱动方式是直接的，因此不需要齿轮或丝杠等部件。
要实现直线运动，这些条件是必需的。这意味着该电机不存在任何机械间隙或反冲现象。Piezo LEGS LS15 直线电机具备与真空环境相容的特性。
Piezo LEGS® LS15 的规格参数
| 参数 | 真空型 (B) | 非磁性型 (D) | 单位 |
|---|---|---|---|
| 类型 | 真空型 | 非磁性型 | – |
| 最大行程（取决于安装方式） | 130 | 130 | mm |
| 最大速度（取决于驱动器） | 12 | 12 | mm/s |
| 最低速度（取决于驱动器） | 1 | 1 | nm/s |
| 最小增量运动量（Minimal Incremental Motion） | <1 | <1 | nm |
| 最大工作频率 | 1.5 | 1.5 | kHz |
| 堵转推力（Stall Force） | 15 | 15 | N |
| 保持力（Holding Force） | >15 | >15 | N |
| 真空兼容 | 是（最高 10⁻⁷ Torr） | 是（最高 10⁻⁷ Torr） | Torr |
| 非磁性 | 否 | 是 | – |
| 工作电压 | 42–48 | 42–48 | V |
| 功耗 | 7 | 7 | mW/Hz |
| 机械尺寸（长 × 高 × 深） | 42 × 23.3 × 15 | 42 × 23.3 × 15 | mm |
| 重量 | 70 | 70 | g |
| 电机外壳材料 | 不锈钢 | 非磁性材料 | – |
| 工作温度 | -20 ～ +70 | -20 ～ +70 | °C |
| 存储温度 | -50 ～ +85 | -50 ～ +85 | °C |
电机控制器
典型应用
适合：
- 纳米定位平台
- 光学调整平台
- 晶圆检测平台
- 半导体设备定位轴
- 显微镜载物台
- 光纤对准系统
- 真空腔体内精密运动机构
