40N 真空兼容、非磁性直线驱动器
Piezo LEGS® LT40 直线压电驱动器专为 OEM 应用设计，专注于在磁场、真空或常温常压（NTP）环境中实现大负载的精确位置控制。
40N 高精度直线驱动器。提供真空兼容和非磁性版本
Acuvi Piezo LEGS 直线 40N 压电电机，强力承载 40N 推力。亚纳米级分辨率。
真空兼容
非磁性
分辨率低至亚纳米级
40 N 推力
自锁功能
无背隙
真正的直接直线驱动
采用的驱动技术为直接驱动，无需齿轮或丝杠即可产生直线运动。电机通过微步进方式运行，将完整波形步进细分为亚纳米级增量。速度范围可从每秒数纳米至每秒数毫米，并能在整个动态范围内实现平滑控制。此外，它在紧凑的机身内提供了高推力输出，堵转力达 40N，重量仅 61 克。
该电机无背隙，且在保持位置时不消耗功率。
提供三种版本：适用于常规环境的标准不锈钢版 (A)、非磁性版 (C) 以及非磁性真空版 (D)。
每个版本均可选择 M1 或 M2 安装方式。
它是半导体制造设备的绝佳选择，适用于晶圆切割与抛光、光刻、离子注入以及晶圆检测与计量。
Piezo LEGS® LT40 也用于医疗技术行业，如药物输送系统、手术工具与机器人、诊断与成像设备以及医用材料搬运。
Piezo LEGS® LT40 规格参数
| 类型 | 标准版 (A) | 非磁性版 (C) | 非磁性真空版 (D) | 单位 |
|---|---|---|---|---|
| 最大行程 | 67 | 毫米 | ||
| 最大速度 | 取决于驱动器 | 毫米/秒 | ||
| 最小速度 | 取决于驱动器 | 纳米/秒 | ||
| 堵转力 | 40 | 牛 (N) | ||
| 保持力 | >40 | 牛 (N) | ||
| 真空兼容性 | 否 | 是 | ||
| 非磁性 | 否 | 是 | ||
| 工作电压 | 42-48 | 伏 (V) | ||
| 功耗 | 20 | 毫瓦/赫 (mW/Hz) | ||
| 机械尺寸 L×H×D（带导轨和编码器） | 不适用 | 毫米 | ||
| 机械尺寸 L×H×D（无导轨和编码器） | 32.1 × 24.2 × 23.1 | 毫米 | ||
| 重量（带50毫米驱动杆） | 61 | 克 | ||
| 电机外壳材质 | 不锈钢 | Arcap/非磁性合金 | ||
| 推荐工作温度 | -20 至 +70 | 摄氏度 (ºC) | ||
| 电机连接器 | 2 × JST BM05B-SRSS-TB | 焊接电缆 2 × JST 05SR-3S | ||
| 编码器连接器 | 不适用 | |||
| 电机分辨率 | <1 | 纳米 (nm) | ||
| 内置编码器 | 否 | |||
| 编码器分辨率 | 不适用 | 纳米 (nm） |
