瑞典PiezoMotor Piezo LEGS® LT20直线压电驱动器 20N非磁性真空兼容高精度直线驱动器

20N 非磁性真空兼容高精度直线驱动器

Piezo LEGS® LT20 直线压电驱动器专为 OEM 应用设计,专注于在磁场、真空或常温常压(NTP)环境中实现精确定位。

Acuvi LEGS® LT20 直线驱动器,一款具有卓越力密度比和纳米级精度的直线驱动器。

  • 20 N 推力

  • 非磁性

  • 真空兼容

  • 纳米级精度

  • 直接驱动 – 无背隙

  • 保持位置零功耗

  • 快速响应与高速动态性能

Piezo LEGS® LT20 直线驱动器

LT20 直线电机适用于广泛的 OEM 应用。其设计重点在于易于集成。极高的动态响应速度和纳米级分辨率使其成为众多应用的理想选择。

该电机非常适合“移动-保持”应用或自动调节。处于保持位置时,电机不消耗任何功率。其驱动技术为直接驱动,意味着无需齿轮或丝杠即可产生直线运动。电机无机械间隙或背隙。LT20 直线电机提供标准版、真空版以及非磁性真空版。

它是半导体制造设备的绝佳选择,适用于晶圆切割与抛光、光刻、离子注入以及晶圆检测与计量。
Piezo LEGS® LT20 也用于医疗技术行业,如药物输送系统、手术工具与机器人、诊断与成像设备以及医用材料搬运。

Piezo LEGS® LT20 规格参数

类型标准版 (A)非磁性版 (C)非磁性真空版 (D)单位
最大行程74.5毫米
最大速度24毫米/秒
驱动器依赖性
最小速度1微米/秒
驱动器依赖性
堵转力20牛 (N)
保持力>20牛 (N)
真空兼容性10⁻⁷ 托
非磁性
工作电压42~48伏 (V)
功耗10毫瓦/赫 (mW/Hz)
机械尺寸 L×H×D(带导轨和编码器)不适用毫米
机械尺寸 L×H×D(无导轨和编码器)22 × 21.8 × 10.8毫米
重量(带50毫米驱动杆)29
电机外壳材质不锈钢Arcap/非磁性合金
推荐工作温度-20 至 +70摄氏度 (°C)
电机连接器2 × JST BM05B-SRSS-TB焊接电缆 2 × JST 05SR-3S
编码器连接器不适用
电机分辨率<1纳米 (nm)
内置编码器
编码器分辨率不适用

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