20N 非磁性真空兼容高精度直线驱动器
Piezo LEGS® LT20 直线压电驱动器专为 OEM 应用设计,专注于在磁场、真空或常温常压(NTP)环境中实现精确定位。
Acuvi LEGS® LT20 直线驱动器,一款具有卓越力密度比和纳米级精度的直线驱动器。
20 N 推力
非磁性
真空兼容
纳米级精度
直接驱动 – 无背隙
保持位置零功耗
快速响应与高速动态性能
Piezo LEGS® LT20 直线驱动器
LT20 直线电机适用于广泛的 OEM 应用。其设计重点在于易于集成。极高的动态响应速度和纳米级分辨率使其成为众多应用的理想选择。
该电机非常适合“移动-保持”应用或自动调节。处于保持位置时,电机不消耗任何功率。其驱动技术为直接驱动,意味着无需齿轮或丝杠即可产生直线运动。电机无机械间隙或背隙。LT20 直线电机提供标准版、真空版以及非磁性真空版。
它是半导体制造设备的绝佳选择,适用于晶圆切割与抛光、光刻、离子注入以及晶圆检测与计量。
Piezo LEGS® LT20 也用于医疗技术行业,如药物输送系统、手术工具与机器人、诊断与成像设备以及医用材料搬运。
Piezo LEGS® LT20 规格参数
| 类型 | 标准版 (A) | 非磁性版 (C) | 非磁性真空版 (D) | 单位 |
|---|---|---|---|---|
| 最大行程 | 74.5 | 毫米 | ||
| 最大速度 | 24 | 毫米/秒 | ||
| 驱动器依赖性 | ||||
| 最小速度 | 1 | 微米/秒 | ||
| 驱动器依赖性 | ||||
| 堵转力 | 20 | 牛 (N) | ||
| 保持力 | >20 | 牛 (N) | ||
| 真空兼容性 | 否 | 是 | 10⁻⁷ 托 | |
| 非磁性 | 否 | 是 | ||
| 工作电压 | 42~48 | 伏 (V) | ||
| 功耗 | 10 | 毫瓦/赫 (mW/Hz) | ||
| 机械尺寸 L×H×D(带导轨和编码器) | 不适用 | 毫米 | ||
| 机械尺寸 L×H×D(无导轨和编码器) | 22 × 21.8 × 10.8 | 毫米 | ||
| 重量(带50毫米驱动杆) | 29 | 克 | ||
| 电机外壳材质 | 不锈钢 | Arcap/非磁性合金 | ||
| 推荐工作温度 | -20 至 +70 | 摄氏度 (°C) | ||
| 电机连接器 | 2 × JST BM05B-SRSS-TB | 焊接电缆 2 × JST 05SR-3S | ||
| 编码器连接器 | 不适用 | |||
| 电机分辨率 | <1 | 纳米 (nm) | ||
| 内置编码器 | 否 | |||
| 编码器分辨率 | 不适用 |
