Piezodrive闭环压电堆叠执行器,闭环堆叠致动器,SCL系列堆叠执行器,SCL050509,SCL070718

150V 闭环压电堆叠执行器

SCL系列堆叠执行器内置全桥应变计,可用于闭环控制与应变监测。执行器本体采用陶瓷封装以防潮湿,并具有环氧涂层以绝缘高压线路并提供机械保护。SCL系列与PiezoDrive的PDu150CL驱动器完美匹配,若与该驱动器一同订购,可在出厂时完成校准。应用包括:纳米定位、显微镜、精密加工、振动控制、液压泵、阀门和光学系统

  • RoHS 和 REACH 合规

技术参数

一般规格

参数数值
驱动电压-30V 至 +150V
行程容差±15%
长度公差±0.1 mm
滞后误差< 15%
工作温度0 至 +70°C
推荐工作湿度< 40%
储存温度-25 至 +80°C
储存湿度< 40%
应变计类型全桥,350 Ω
灵敏度因子 (GF)2
桥压< 5 Vrms

型号参数表

型号行程范围 (0~150V)行程范围 (-30~150V)长度横截面电容 (±20%)质量阻挡力刚度共振频率
SCL0505099.5 μm12 μm9 mm5×5 mm0.75 μF2.0 g1000 N105 N/μm140 kHz
SCL05051820 μm26 μm18 mm*5×5 mm1.6 μF3.8 g1000 N50 N/μm70 kHz
SCL05053641 μm53 μm36 mm5×5 mm3.5 μF7.4 g1000 N24 N/μm34 kHz
SCL07071819 μm24 μm18 mm*7×7 mm3.0 μF7.3 g1900 N100 N/μm70 kHz
SCL07073638 μm50 μm36 mm7×7 mm6.0 μF14 g1900 N50 N/μm35 kHz

*说明:18mm 长的执行器,其应变计电气接点靠近末端,可能与安装面接触。建议使用球端防止短路,或通过后缀“-Spacer”添加0.4 mm陶瓷垫片,例如:SCL050518-Spacer

安装说明

  • 不应施加拉伸力、非均匀载荷、偏载、弯矩或扭矩。

  • 可使用陶瓷/不锈钢球端配合柔性结构减少误差。

  • 建议粘接剂:

    • 低温:氰基丙烯酸类(如超能胶)、Loctite 3430。

    • 高温/需散热:Loctite 9466。

  • 最大推荐拉力为阻挡力的10%

  • 若需双向力或高速运动,应施加预加载,其大小应大于最大拉力,最大不超过阻挡力的50%,以保持执行器处于压缩状态。

球端选配

通过添加以下后缀可选配球端:

  • -TBE: 顶部球端

  • -BBE: 底部球端

  • -2BE: 顶部和底部球端

例如:SCL050509-2BE

横截面球端直径每个球端增加长度
5×5 mm5 mm2.5 mm
7×7 mm7 mm3.5 mm

安装杯(Mounting Cups)也可选配:

型号适配球端外径每个杯增加长度
SCUP55 mm5 mm0.56 mm
SCUP77 mm7 mm0.78 mm

应变计说明

  • 应变计为350Ω全桥,含两个90°应变片。

  • 主方向应变记为 +ε,垂直方向为 -νε(考虑泊松比 ν)。

  • 若满量程应变为0.1%,桥输出电压约为 6.7 mV(激励电压5V)。

  • 与PDu150CL搭配时,典型闭环分辨率为 ±25nm(@100Hz带宽)

推荐驱动器:PDu150CL

  • 支持开环与闭环控制

  • 可设置使传感器输出满程为+10V

  • 输入信号 0~10V → 对应执行器全行程输出

  • 推荐闭环输入最高不超过 9V(留余量补偿温漂或老化)

若与执行器一同订购,可在出厂时完成校准。默认校准范围为 0150V 输入 → 010V 传感器输出。

行程说明

  • 若执行器带动刚性负载(弹簧),行程将减小:

    有效行程=kaka+kl\text{有效行程} = \frac{k_a}{k_a + k_l}

    其中 kak_a 为执行器刚度,klk_l 为负载刚度。

  • 粘接于刚性基底时行程亦会减小,尤其对长度小于宽度两倍的执行器影响较大。

电容说明

  • 表中电容为小信号电容(室温下测得)

  • 实际运行时电容增加,满行程下为标称值的 1.5 倍

  • 温度升高 50°C 时,电容约为 2 倍

热管理

  • 热量来自金属层电阻、机械摩擦、迟滞损耗

  • 热量通过表面对流与端板传导散出

  • 当驱动频率高于 500 Hz 时,建议使用平端面以增强散热

  • 大截面提供更好导热性,但需更大驱动电流

最大操作温度:70°C,如需更高温度型号,请联系供应商

温升频率对照表(@150V 正弦波)

横截面升温10°C升温25°C
5×5 mm600 Hz1.5 kHz
7×7 mm500 Hz3 kHz

以上频率假设运行频率低于系统共振频率。在共振点附近,热量产生将显著增加。

尺寸说明

  • 总长度 = 陶瓷长度 + 两端板

  • 总宽度 = 陶瓷宽度 + 2.3 mm(含应变计和导线)

 

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