Piezodrive 压电陶瓷管扫描器为径向极化压电材料制成的薄壁圆筒,外侧设有四路电极,内侧为连续整体电极。

当对其中一路外侧电极施加电压时,陶瓷管的自由端会向该电极方向弯曲;若对全部外侧电极施加相同电压,或对内电极施加电压,陶瓷管则会实现垂直方向伸缩。
Piezodrive 压电陶瓷管扫描器广泛应用于扫描探针显微镜中作为 XYZ 三维纳米定位器,也可用于微操作、光束扫描等领域。陶瓷管可单独订购,也可选择带接线、连接器(适配 TD250‑INV 放大器)及安装面的配置,便于装配。
Specifications
| Order Code | Length (1) | Diameter (2) | Thickness (3) | Electrode Clearance (4) | Max. Voltage (5) | Scan Range (6) | Extension Range (7) | Resonance Frequency (8) | Quadrant Capacitance (9) | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TB1006-N | 10.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 3.2 um | 2.1 um | 31 kHz | 3 nF | ||
| TB2006-N | 20.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 13 um | 4.2 um | 7.7 kHz | 4 nF | ||
| TB3006-N | 30.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 29 um | 6.3 um | 3.4 kHz | 6 nF | ||
| TB4006-N | 40.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 51 um | 7.4 um | 1.9 kHz | 6 nF | ||
| TB5006-N | 50.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 80 um | 11 um | 1.2 kHz | 10 nF | ||
| TB6006-N | 60.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 114 um | 13 um | 850 Hz | 11 nF | ||
| TB10006-N | 100.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ± 260 V | 318 um | 21 um | 310 Hz | 19 nF |
技术注释
长度公差:±0.2 mm
外径公差:±0.2 mm
壁厚公差:±0.1 mm
外侧电极之间、电极与管端之间的间隙:公差 +0.3 mm,-0.2 mm
推荐最大双极性电压:任意外侧电极与接地内电极之间。
水平偏转峰峰值(底座固定、端部自由):对 X 或 Y 电极施加最大电压、内电极接地时。公差 -0%,+50%
垂直偏转峰峰值:对所有外侧电极施加最大电压、内电极接地时。公差 -0%,+50%
一阶弯曲谐振频率(底座固定、端部自由):见下方计算器。公差 ±20%
单路外侧电极与内电极之间的电容:公差 ±30%
管件 STEP 文件:含安装底座与端盖。如不需要,可删除底座与端盖。
TD250‑INV 放大器驱动压电陶瓷管接线说明
下图为 TD250‑INV 放大器驱动压电陶瓷管的接线示意图。
X 轴偏转由 In1 信号(±10V)控制:In1 会在 +X 电极上生成同相 ±250V 信号,并在 ‑X 电极上生成反相 ±250V 信号。向 In1 输入 +10V 时,陶瓷管向 +X 电极方向最大偏转;输入 ‑10V 时,向 ‑X 电极方向最大偏转(如图所示)。
Y 轴驱动逻辑与 X 轴完全相同。
垂直 Z 轴伸缩由 In5(0V~‑10V)控制:In5 会在内电极上产生最高 ‑250V 的负电压,使陶瓷管产生垂直行程一半的收缩量。
注意:三轴同时驱动时,仅可使用垂直总行程的 1/2。

