Piezodrive 压电管扫描仪

Piezodrive 压电管扫描仪

Piezodrive 压电管扫描仪是径向极化的压电材料制成的薄壁圆柱体,具有四个外部电极和一个连续内部电极。当在其中一个外部电极施加电压时,管的自由端会向施加电压的方向弯曲。垂直延伸可通过向所有外部电极施加相同电压,或向内部电极施加电压来实现。

Piezodrive 压电管扫描仪广泛用作扫描探针显微镜中的 XYZ 纳米定位,也用于显微操作和光束扫描等其他应用。压电管可单独订购,也可选择带接线和连接器的版本(用于连接 TD250-INV 放大器),并提供安装表面以便于组装。还可根据要求定制尺寸和/或电极配置。

订购代码长度 (1)直径 (2)壁厚 (3)电极间隙 (4)最大电压 (5)扫描范围 (6)延伸范围 (7)谐振频率 (8)象限电容 (9)
TB1006-N10.0 mm6.0 mm0.65 mm0.7 mm±260 V3.2 µm2.1 µm31 kHz3 nF
TB2006-N20.0 mm6.0 mm0.65 mm0.7 mm±260 V13 µm4.2 µm7.7 kHz4 nF
TB3006-N30.0 mm6.0 mm0.65 mm0.7 mm±260 V29 µm6.3 µm3.4 kHz6 nF
TB4006-N40.0 mm6.0 mm0.65 mm0.7 mm±260 V51 µm7.4 µm1.9 kHz6 nF
TB5006-N50.0 mm6.0 mm0.65 mm0.7 mm±260 V80 µm11 µm1.2 kHz10 nF
TB6006-N60.0 mm6.0 mm0.65 mm0.7 mm±260 V114 µm13 µm850 Hz11 nF
TB10006-N100.0 mm6.0 mm0.65 mm0.7 mm±260 V318 µm21 µm310 Hz19 nF

压电管配 TD250-INV 放大器接线示意图

由 TD250-INV 放大器驱动的压电管接线方案如下:

  • X 轴偏转:由 In1 信号(±10V)控制,在 +X 电极上产生同相 ±250V 信号,在 -X 电极上产生反相 ±250V 信号。当 In1 为 +10V 时,压电管向 +X 电极方向 产生最大偏转;当 In1 为 -10V 时,向 -X 电极方向 产生最大偏转(如图所示)。

  • Y 轴偏转:驱动方案与 X 轴完全相同(由 In3 和 In4 控制)。

  • Z 轴(垂直)偏转:由 In5(0V 至 -10V)控制,在内部电极上产生最高 -250V 的负电压,产生等于垂直行程范围 一半 的收缩量。

注意:当三个轴同时驱动时,垂直行程范围只能使用 一半


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