封装式压电陶瓷促动器内部集成高可靠性压电陶瓷,可实现纳米级分辨率,位移行程可达260微米,微秒级响应时间,外部由柱形不锈钢外壳保护。
较高的内部机械预载力可适用于高负载、高动态应用。出力达50000N,使其非常适于腔调谐、主动振动、减震抑震或自适应力学。同时,小体积、高谐振频率等特点又使其非常适于扫描显微、光束偏转、精密加工或显微光刻等应用。
封装式压电陶瓷:
Actuators | Length | Range | Force | |
SA030305 | 5 mm | 5.6 um | 330 N | |
SA030306 | 6 mm | 7 um | 330 N | |
SA030310 | 10 mm | 14 um | 330 N | |
SA030318 | 18 mm | 25 um | 330 N | |
SA050510 | 10 mm | 14 um | 900 N | |
SA050520 | 20 mm | 31 um | 900 N | |
SA050536 | 36 mm | 56 um | 900 N | |
SA070718 | 18 mm | 28 um | 1800 N | |
SA070742 | 42 mm | 70 um | 1800 N |
应用领域
超导腔调谐
通过谐振器在轴向拉伸超导腔,改变加速间隙的大小,控制超导腔的频率。通过机械调谐进行频率的粗调后,当超导腔的频率接近所需要的频率时,通过压电陶瓷促动器对频率进行微调。利用的是压电陶瓷促动器的大出力、微位移的特性。
微细电火花加工
采用微细电火花加工微小孔过程中会产生很多碎屑,这会严重影响电火花加工的精准度及加工速度。设备中采用压电促动器,利用其微纳米级位移,高频振动,大出力等特性将加工产生的碎屑进行有效的清除,起到优异的导屑作用。
Actuator | Length | OD | ID | Range | Force | |
SR080410 | 10 mm | 8 mm | 4.5 mm | 14 um | 1300 N | |
SR080418 | 18 mm | 8 mm | 4.5 mm | 28 um | 1300 N | |
SR120610 | 10 mm | 12 mm | 6 mm | 14 um | 3000 N | |
SR120620 | 20 mm | 12 mm | 6 mm | 30 um | 3000 N |
减震抑震
震动是很多机械系统中需要避免或消除的,如航空航天、汽车行业等。在震动监测系统中监测到震动时,通过给压电促动器施加电信号,使压电促动器随之产生与震动方向相反的位移,从而抵消震动。
Actuator | Length | Diameter | Thickness | Max. Voltage | Scan Range | |
TB1005 | 10.0 mm | 5.0 mm | 0.66 mm | ± 264 V | 3.8 um | |
TB2005 | 20.0 mm | 5.0 mm | 0.66 mm | ± 264 V | 15 um | |
TB3507 | 35.0 mm | 7.0 mm | 0.66 mm | ± 264 V | 39 um | |
TB5009 | 50.8 mm | 9.5 mm | 0.66 mm | ± 264 V | 52 um | |
TB5509 | 55.0 mm | 9.0 mm | 0.60 mm | ± 250 V | 66 um | |
TB6006 | 60.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | ± 260 V | 114 um |
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