封装式压电陶瓷促动器应用领域

封装式压电陶瓷促动器内部集成高可靠性压电陶瓷,可实现纳米级分辨率,位移行程可达260微米,微秒级响应时间,外部由柱形不锈钢外壳保护。

较高的内部机械预载力可适用于高负载、高动态应用。出力达50000N,使其非常适于腔调谐、主动振动、减震抑震或自适应力学。同时,小体积、高谐振频率等特点又使其非常适于扫描显微、光束偏转、精密加工或显微光刻等应用。

封装式压电陶瓷:

150V Piezoelectric Stack Actuators

ActuatorsLengthRangeForce
SA0303055 mm5.6 um330 N
SA0303066 mm7 um330 N
SA03031010 mm14 um330 N
SA03031818 mm25 um330 N
SA05051010 mm14 um900 N
SA05052020 mm31 um900 N
SA05053636 mm56 um900 N
SA07071818 mm28 um1800 N
SA07074242 mm70 um1800 N

应用领域

超导腔调谐

通过谐振器在轴向拉伸超导腔,改变加速间隙的大小,控制超导腔的频率。通过机械调谐进行频率的粗调后,当超导腔的频率接近所需要的频率时,通过压电陶瓷促动器对频率进行微调。利用的是压电陶瓷促动器的大出力、微位移的特性。

微细电火花加工

采用微细电火花加工微小孔过程中会产生很多碎屑,这会严重影响电火花加工的精准度及加工速度。设备中采用压电促动器,利用其微纳米级位移,高频振动,大出力等特性将加工产生的碎屑进行有效的清除,起到优异的导屑作用。

150V Piezoelectric Ring Stacks

ActuatorLengthODIDRangeForce
SR08041010 mm8 mm4.5 mm14 um1300 N
SR08041818 mm8 mm4.5 mm28 um1300 N
SR12061010 mm12 mm6 mm14 um3000 N
SR12062020 mm12 mm6 mm30 um3000 N

减震抑震

震动是很多机械系统中需要避免或消除的,如航空航天、汽车行业等。在震动监测系统中监测到震动时,通过给压电促动器施加电信号,使压电促动器随之产生与震动方向相反的位移,从而抵消震动。

TubeDiagram

ActuatorLengthDiameterThicknessMax. VoltageScan Range
TB100510.0 mm5.0 mm0.66 mm± 264 V3.8 um
TB200520.0 mm5.0 mm0.66 mm± 264 V15 um
TB350735.0 mm7.0 mm0.66 mm± 264 V39 um
TB500950.8 mm9.5 mm0.66 mm± 264 V52 um
TB550955.0 mm9.0 mm0.60 mm± 250 V66 um
TB600660.0 mm6.0 mm0.65 mm± 260 V114 um

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