封装式压电陶瓷促动器应用领域

封装式压电陶瓷促动器内部集成高可靠性压电陶瓷,可实现纳米级分辨率,位移行程可达260微米,微秒级响应时间,外部由柱形不锈钢外壳保护。

较高的内部机械预载力可适用于高负载、高动态应用。出力达50000N,使其非常适于腔调谐、主动振动、减震抑震或自适应力学。同时,小体积、高谐振频率等特点又使其非常适于扫描显微、光束偏转、精密加工或显微光刻等应用。

封装式压电陶瓷:

150V Piezoelectric Stack Actuators

Actuators Length Range Force
SA030305 5 mm 5.6 um 330 N
SA030306 6 mm 7 um 330 N
SA030310 10 mm 14 um 330 N
SA030318 18 mm 25 um 330 N
SA050510 10 mm 14 um 900 N
SA050520 20 mm 31 um 900 N
SA050536 36 mm 56 um 900 N
SA070718 18 mm 28 um 1800 N
SA070742 42 mm 70 um 1800 N

应用领域

超导腔调谐

通过谐振器在轴向拉伸超导腔,改变加速间隙的大小,控制超导腔的频率。通过机械调谐进行频率的粗调后,当超导腔的频率接近所需要的频率时,通过压电陶瓷促动器对频率进行微调。利用的是压电陶瓷促动器的大出力、微位移的特性。

微细电火花加工

采用微细电火花加工微小孔过程中会产生很多碎屑,这会严重影响电火花加工的精准度及加工速度。设备中采用压电促动器,利用其微纳米级位移,高频振动,大出力等特性将加工产生的碎屑进行有效的清除,起到优异的导屑作用。

150V Piezoelectric Ring Stacks

Actuator Length OD ID Range Force
SR080410 10 mm 8 mm 4.5 mm 14 um 1300 N
SR080418 18 mm 8 mm 4.5 mm 28 um 1300 N
SR120610 10 mm 12 mm 6 mm 14 um 3000 N
SR120620 20 mm 12 mm 6 mm 30 um 3000 N

减震抑震

震动是很多机械系统中需要避免或消除的,如航空航天、汽车行业等。在震动监测系统中监测到震动时,通过给压电促动器施加电信号,使压电促动器随之产生与震动方向相反的位移,从而抵消震动。

TubeDiagram

Actuator Length Diameter Thickness Max. Voltage Scan Range
TB1005 10.0 mm 5.0 mm 0.66 mm ± 264 V 3.8 um
TB2005 20.0 mm 5.0 mm 0.66 mm ± 264 V 15 um
TB3507 35.0 mm 7.0 mm 0.66 mm ± 264 V 39 um
TB5009 50.8 mm 9.5 mm 0.66 mm ± 264 V 52 um
TB5509 55.0 mm 9.0 mm 0.60 mm ± 250 V 66 um
TB6006 60.0 mm 6.0 mm 0.65 mm ± 260 V 114 um

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