隔膜真空泵
具有稳定抽吸力的低振动真空泵
使用这款紧凑型、无油泵，可以轻松地固定好基片、晶圆以及各种实验室设备
使用Ossila隔膜真空泵来保护您的基片、晶圆和各类设备吧。该泵专为真空夹具和固定装置设计，能够提供稳定的抽吸力（最大真空度可达-330毫巴），其噪音水平很低（小于45分贝）。此外，它还具有双级减震功能，能有效降低振动；最大流量则为7升/分钟。
该系统是专为低真空环境而设计的，适用于以下应用场景：
- 将硅片固定在Ossila 探针台上
- 将柔软的基材平整、牢固地固定在Ossila 自动贴膜机上。
- 为基于真空技术的微型操纵器提供动力
Ossila隔膜真空泵采用了便捷的即插即用连接方式，可通过6毫米的推入式接口与Ossila设备相连。内置的模拟表盘能让用户随时了解真空度情况，便于排除故障并发现泄漏点。
与大型工业泵不同，该系统无需使用润滑油，因此维护成本极低，同时也不会有油污污染的风险。它体积小巧，配有集成式压力表，连接方式也很简单方便。因此，它可以轻松地被安装在空间有限的实验台上或手套箱中。
双重振动隔离装置
内置弹簧悬挂装置与外部减震脚垫
安静运行
在开放式实验室中使用时，噪音水平可控制在<45分贝，从而确保使用时的舒适度。
无油泵
与旋片泵相比，其维护成本更低。
集成式仪表
双刻度表盘（单位：毫巴/毫米汞柱），可即时清晰地读取数值。
技术规格/参数
| 泵的类型 | 无油隔膜泵 |
|---|---|
| 最大流量 | 7升/分钟 |
| 最大真空度（表压） | -680毫巴（-510毫米汞柱） |
| 最大真空度（绝对值） | 330毫巴 |
| 噪音 | 1米处时，噪音水平为45分贝。 |
| 振动 | 低（双级阻尼式） |
| 电机类型 | 直流无刷电机 |
| 最大功率 | 4瓦特 |
| 额定泵的使用寿命 | 6000小时 |
双级振动隔离装置
普通的实验室泵通常会产生较大的机械噪音。为了解决这个问题，Ossila真空泵采用了两级隔离设计，从而将泵的运转部件与实验室环境隔离开来。
- 内部悬挂结构：核心泵模块通过四点式水平弹簧装置进行悬挂。这种设计能够有效吸收X、Y、Z三个方向上的振动，从而防止电机产生的振荡传递到外部机壳上。
- 外部减震装置：金属机箱安装在具有良好防滑性能的橡胶脚上，这些橡胶脚能够有效吸收震动，从而在设备与光学工作台或操作台之间形成额外的隔离层。
这使得我们的真空泵非常适合与探针台等设备结合使用，尤其适用于那些对机械稳定性要求极高的实验室应用场景。多轴减速装置确保了在泵以全功率运行时，探针尖端能够保持稳定，同时也不会影响到被涂覆的基材。
申请事项/用途
这种泵用途广泛，适用于各种实验室中的固定和搬运作业。
- 探针站用真空吸盘。作为Ossila探针站的理想配套设备，该真空泵能够确保在样品进行检测时保持其固定状态。它具有足够的吸力，可将样品牢牢固定在吸盘上，从而确保在检测过程中能够实现稳定的电接触，同时避免因振动而导致探针尖端脱落的情况发生。
- 薄膜涂覆装置及涂层系统。非常适合与Ossila自动薄膜涂覆设备（以及类似的刮刀式或槽模式涂覆系统）配合使用。该装置能够确保无论是柔性还是刚性的基材都能保持完全平整的状态，从而实现均匀的涂层厚度，并防止基材发生移动。
- 真空工具固定装置。非常适合将基于真空技术的操纵器及光学装置固定在光学工作台或探测站上。
- 拾放系统。可用作手动或自动真空镊子的抽气源，从而能够安全地处理脆弱的太阳能电池、有机发光二极管或玻璃盖片，避免对其造成任何损坏。
