Ossila 四点探头可以快速轻松地测量薄膜的薄层电阻、电阻率和电导率
Ossila 四点探头可以快速轻松地测量薄膜的薄层电阻、电阻率和电导率。弹簧加载的圆形触点可实现高质量的表面测量,而不会损坏精细样品,使其成为表征纳米级聚合物薄膜的理想选择。得益于其紧凑和独立的设计,两种型号都可以无缝地适应任何实验室环境,而 Plus 型号可以在没有 PC 的设置中进行测量。
我们的四点探头以 Ossila 源测量单元为核心,具有较宽的电流范围,使其适用于各种测量。选择四点探头进行快速可靠的材料表征。
使用 Four-Point Probe Plus 进行快速测量
无需连接到 PC 即可表征样品。四点探针 Plus 包括嵌入式软件,可通过 LED 屏幕和键盘轻松控制。
该系统可以独立测量薄层电阻,并在输入尺寸和厚度后测量样品的电导率和电阻率。它还提供外部引脚之间的电流和电压以及内部引脚之间的电压的实时显示。对于更复杂的实验,此型号仍然包含免费的 PC 软件,因此您可以记录数据。
规格
电压范围 | ±100 μV 至 ±10 V |
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电流范围 | ±1 μA 至 ±200 mA(5 个量程) |
薄层电阻范围 | 100 mΩ/□ 至 10 MΩ/□(欧姆/平方) |
配备软接触探头
Ossila 四点探针配有软接触探针,以减少损坏精细薄膜的可能性。我们的探头具有圆形尖端(与其他探头不同,其他探头像锋利的针)和更大的表面积,半径为 0.24 mm。金板探针安装在弹簧上,以便在与样品接触时缩回探针头中。这种设计分散了向下的力,并确保对样品施加 60 克的均匀力。
请注意:目前,我们的系统不适用于硅或其他自然形成绝缘氧化层的材料。为了测量此类材料,需要穿透氧化层,我们的探头旨在避免这种情况。
薄层电阻
薄层电阻 | SMU 精度* | 精度 | 在远距离测量 |
---|---|---|---|
100 mΩ/□ | ±8% | ±3% | 200 毫安 |
1 Ω/□ | ±2% | ±0.5% | 200 毫安 |
10 Ω/□ | ±1% | ±0.5% | 200 毫安 |
100 Ω/□ | ±1% | ±0.05% | 20 毫安 |
1 kΩ/□ | ±1% | ±0.03% | 20 毫安 |
10 kΩ/□ | ±1% | ±0.02% | 2000 微安 |
100 kΩ/□ | ±2% | ±0.05% | 200 微安 |
1 MΩ/□ | ±8% | ±0.5% | 20 微安 |
10 MΩ/□ | ±30% | ±5% | 20 微安 |
* 探头可能会引入高达 4% 的额外测量误差。
物理规格
探针间距 | 1.27 毫米(0.05 英寸) |
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矩形采样大小范围 | 最小长边:5 mm (0.20”) 最大短边:152.4 毫米(6 英寸) |
圆形样品尺寸范围 (直径) | 5 毫米至 152.4 毫米(0.20 英寸至 6.00 英寸) |
最大样品厚度 | 8 毫米(0.31 英寸) |
外形尺寸(宽 x 高 x 深) | 145 毫米 x 150 毫米 x 240 毫米(5.71 英寸 x 5.91 英寸 x 9.45 英寸) |
电阻率和电导率范围
由于系统测量样品的薄层电阻,因此无法给出可测量电阻率或电导率的一般范围。这是因为可测量的电阻率范围取决于被测样品的厚度。样品的电阻率可以使用以下公式根据其薄层电阻和厚度计算:

该系统能够测量 100 mΩ/□ 到 10 MΩ/□,因此如果我们在上述公式中对 50 nm 厚的样品使用这些值,那么系统可以测量的电阻率(电导率)范围将为 5 nΩ.m 至 500 mΩ.m(2 S/m 至 200 MS/m)。如果样品厚度为 400 μm,则系统的电阻率(电导率)范围为 40 μΩ.m 至 4 kΩ.m(250 μS/m 至 25 kS/m)。下表列出了系统对不同数量级厚度的样品的电阻率和电导率范围:
涂层厚度 | 电阻率范围 | 电导率范围 |
---|---|---|
10 纳米 | 1 nΩ.m – 100 mΩ.m | 10 速/米 – 1 GS/米 |
100 纳米 | 10 nΩ.m – 1 Ω.m | 1 速/米 – 100 毫秒/米 |
1 微米 | 100 nΩ.m – 10 Ω.m | 100 毫秒/米 – 10 毫秒/米 |
10 微米 | 1 μΩ.m – 100 Ω.m | 10 毫秒/米 – 1 毫秒/米 |
100 微米 | 10 微欧姆 – 1 千欧姆 | 1 毫秒/米 – 100 千秒/米 |
1 毫米 | 100 微欧姆 – 10 千欧姆 | 100 微秒/米 – 10 千秒/米 |
四点探头特性
非破坏性软接触探针
设计用于测量易碎样品。半径为 0.24 mm 的圆形软接触探针将施加到样品上的向下力分散开来。探头镀金并安装在弹簧上,以实现良好的电气接触。接触时,它们缩回头部以确保施加 60 克的均匀力。
宽电流范围
我们的四点探头能够提供 1 μA 至 200 mA 的电流,并且可以测量低至 100 μV 至 10 V 的电压。该系统可以测量 100 mΩ/□ 至 10 MΩ/□ 范围内的薄层电阻,从而能够表征各种材料。
高精度
可以进行正极性和负极性测量,以计算正负电流之间的平均薄层电阻。这消除了可能发生的任何电压偏移,从而提高了测量的准确性。
线性平移平台
采用千分尺高度控制,可实现简单可控的软样品接触。手动旋钮使每次都可以轻松实现良好的电气接触。此外,防滑样品台可保持样品稳定,并确保在表征过程中不会因移动而损坏易碎样品。
表征大样品
较大的载物台面积意味着您可以表征直径达 6 英寸(152.4 mm)的较大样品。较大的样品对校正因子的依赖性较低,并且在表征材料时提供更准确的测量结果。
快速测量(仅限 Plus 型号)
内置数据显示屏包括明亮的 LCD 显示屏和触觉键盘,无需连接 PC 即可表征样品。只需插入四点探针,抬起样品使其与探针接触,然后按下 OK 按钮。
四点探针库*
*照片包括 Original 和 Plus 型号
软件
您的四点探头可以使用 PC 进行控制,运行我们免费的、用户友好的 Ossila Sheet Resistance Lite 软件。使用 Plus 型号,您还可以在内置数据显示器上使用嵌入式软件。这两款软件都可以计算出样品几何形状以及样品电阻率和电导率的适当几何校正因子,以便对材料进行广泛、准确的电气表征(如果您想记录数据,则需要使用 Ossila Sheet Resistance Lite 软件)。

Sheet Resistance Lite 软件随附在随附的 USB 记忆棒上,并附有用户手册和 QC 数据的副本。此外,最新版本始终可以从我们的网站免费下载。
Sheet Resistance Lite 软件将数据保存为逗号分隔值 (.csv) 文件,便于将数据导入您首选的分析软件。高级设置使您可以更好地控制测量,允许您设置电压和电流限制、执行负极性测量或使用具有不同间距的探头。
Sheet Resistance Lite 软件要求
操作系统 | Windows 10 或 11(64 位) |
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中央处理器 | 双核 2 GHz |
公羊 | 2 吉字节 |
可用硬盘空间 | 270兆字节 |
显示器分辨率 | 1440 x 900 像素 |
连接 | USB 2.0 或以太网(需要 DHCP) |
https://www.bihec.com/ossilaltd/%e8%8b%b1%e5%9b%bdossila-br-bt-cho-1071224-34-4-%e7%a2%b3%e9%85%b8%e9%86%9b%e5%8d%95%e4%bd%93%e5%8c%96%e5%ad%a6%e7%bb%93%e6%9e%84%e5%8d%95%e5%85%83-%e6%9d%82%e7%8e%af%e7%bb%93%e6%9e%84%e5%8d%95/