OPTO DIODE CORPORATION
SXUV 高能光子、电子和 X 射线探测
Opto Diode 的 SXUV 系列光电二极管专为精确探测极紫外（EUV）辐射、X 射线以及电子而设计。该系列探测器具有 20 mm² 的大圆形有效感光面积，在 1 nm 至 200 nm 波长范围内具备卓越的响应度，非常适合高强度的 EUV 应用。
SXUV 探测器——具备高抗辐射能力与稳定的 EUV 响应度
特点
高抗辐射能力
低噪声性能
宽光谱响应度
应用
极紫外（EUV）光刻
X 射线光谱分析
同步辐射监测
我们提供的产品
| 型号名称/编号 | 部件号 | 描述 | 有效面积 (mm²) | 认证与合规 | |
| SXUVPS4 | ODD-SXU-013 | 圆形有效感光区（4 象限） | 1.25 | Opto Diode Pte Limited ROHS Opto Diode Pte Limited Reach | |
| SXUVPS4C | ODD-SXU-023 | 象限型紫外增强光电二极管 | 1.25 | Opto Diode Pte Limited ROHS Opto Diode Pte Limited Reach | |
| SXUV5 | ODD-SXU-008 | 高速 EUV 光电探测器（1nm-190nm） | 5 | Opto Diode Pte Limited ROHS Opto Diode Pte Limited Reach | |
| SXUV20HS1 | ODD-SXU-004 | 高速 EUV 光电探测器（1nm-190nm） | 20 | Opto Diode Pte Limited ROHS Opto Diode Pte Limited Reach | |
| SXUV20C | ODD-SXU-051 | EUV 低噪声光电探测器（1nm-190nm） | 20 | Opto Diode Pte Limited ROHS Opto Diode Pte Limited Reach | |
| SXUV100 | ODD-SXU-001 | 大尺寸 EUV 光电探测器（1nm-190nm） | 100 | Opto Diode Pte Limited ROHS Opto Diode Pte Limited Reach | |
| SXUV100TF135 | SXUV100TF135DS | 集成滤光片的光电二极管 | 100 | Opto Diode Pte Limited ROHS Opto Diode Pte Limited Reach | |
| SXUV300C | ODD-SXU-044 | 大尺寸 EUV 高速陶瓷封装光电探测器（1nm-190nm） | 331 | Opto Diode Pte Limited ROHS Opto Diode Pte Limited Reach |
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