美国Opto Diode 光电二极管,EUV 增强型探测器,极紫外光电探测器
美国Opto Diode SXUV 系列极紫外 (EUV) 增强型探测器具有卓越的 13.5nm 光刻能力,在 1nm 至 190nm 的极紫外曝光中具有稳定的响应度,使其成为最关键的 EUV 光测量的理想选择。
Opto Diode 设计和制造高质量的标准和定制传感器和发射器,涵盖短波长、X 射线、EUV、紫外线、可见光、近红外和中红外波长。我们的标准和定制解决方案可满足航空航天、环境、火灾、火焰或气体检测、医疗、军事、工业、科学或半导体市场的各种应用要求。
型号 | 零件号 | 描述 | 有效面积 (mm 2 ) |
SXUV100 | ODD-SXU-001 | 大型 EUV 光电探测器(1nm-190nm) | 100 |
SXUV20C | ODD-SXU-051 | EUV 低噪声光电探测器 (1nm-190nm) | 19,7 |
SXUV20HS1 | ODD-SXU-004 | 高速 EUV 光电探测器 (1nm-190nm) | 19.7 |
SXUV300C | ODD-SXU-044 | 大型 EUV 高速陶瓷封装光电探测器(1nm-190nm) | 331 |
SXUV5 | ODD-SXU-008 | 高速 EUV 光电探测器 (1nm-90nm) | 5 |