使用Ossila四点探针测试仪，只需几秒钟即可精确测量薄膜的薄层电阻、电阻率以及导电性。由于有两种探针类型可供选择，因此您可以最大限度地发挥四点探针装置的性能。
软尖探针非常适合用于处理诸如有机材料或极薄薄膜之类的脆弱样品。其带有弹簧装置的圆形触点能够实现高质量的表面检测，同时不会对样品造成任何损坏。
尖端探针旨在刺穿绝缘氧化层，从而对硅等硬质材料进行可靠测量。
四点探针Plus配备了内置显示屏，用户只需按下按钮即可快速完成电阻率和导电率的测量，无需连接电脑。这一特点使其非常适合在手套箱内使用。两种型号都可通过免费下载的软件来实现电脑控制。选择四点探针，就能实现快速而可靠的材料特性分析。
描述“Wide”的特征/特点
可用材料范围
测量100毫欧/平方到10兆欧/平方范围内的电阻值。
圆形、弹簧加载式探针
60克的恒定作用力能够有效保护脆弱的样品。
镀镍处理的锋利
碳化钨探针
用最大力为197.43克力 的工具来穿透绝缘层。
主要规格参数
| 电压范围 | ±100微伏 – ±10伏 |
|---|---|
| 当前范围/数值区间 | ±20微安 – ±200毫安（5个量程） |
| 片阻范围 | 100毫欧/平方 – 10兆欧/平方 |
探头类型
这种带有柔软尖端的探针，其圆润的尖端和较大的表面积有助于减少对脆弱薄膜的损伤。尖端的半径为0.24毫米。镀金处理的探针安装在弹簧上，这样当探针与样品接触时，它可以缩回到探针头部。这种设计能够分散施加在样品上的力，确保样品受到60克的均匀压力。不过，这种探针并不适合用于硅或其他会自然形成绝缘氧化层的材料上。
这些尖端锋利的探针专为那些表面有天然氧化层的材料而设计，其探针尖端直径为0.08毫米。凭借尖锐的尖端，这些探针能够穿透氧化层，直接与硅等材料接触。而镀镍碳化钨制成的探针则可以施加高达197.43克力의力来突破绝缘层，从而确保能够进行准确的样品测量。
请注意：要使用Ossila四点探针的尖头探针头，必须使用版本号为1.1.0或更高版本的固件。您可以通过我们的网站下载最新版本的固件。
在某些条件下，软尖探针表面的镀金层可能会被破坏。比如，在潮湿的环境中使用这些探针时，或者当它们接触到具有腐蚀性、研磨性或酸性的样品时，这种情况尤为明显，尤其是在有电负荷的情况下。此外，黄金还可能渗入铜、铝、锡和硅等材料中，尤其是在高温环境下——而高温往往是由于大电流通过时产生的热效应所导致的。
如果您需要为T2001A3型号更换探针头，请联系我们。
片阻
| 片电阻 | SMU精确度* | 精确度/精准度 | 在指定范围内进行测量 |
|---|---|---|---|
| 100 毫欧/平方 | ±8% | ±3% | 200毫安 |
| 1 Ω/平方 | ±2% | ±0.5% | 200毫安 |
| 10 Ω/平方 | ±1% | ±0.5% | 200毫安 |
| 100 欧姆/平方 | ±1% | ±0.05% | 20毫安 |
| 1千欧/平方 | ±1% | ±0.03% | 20毫安 |
| 10千欧/平方 | ±1% | ±0.02% | 2000微安 |
| 100千欧/平方 | ±2% | ±0.05% | 200微安 |
| 1兆欧/平方 | ±8% | ±0.5% | 20微安 |
| 10兆欧/平方 | ±30% | ±5% | 20微安 |
*探头本身会导致最多4%的额外测量误差。
可靠地测量样品
选择合适的探针尖端吧。
根据样品类型的不同，您可以轻松切换使用软尖探针或硬尖探针。软尖探针能够分散向下的压力，因此非常适合用于测量脆弱、薄层或有机材质的样品。而硬尖探针则能施加更大的力，从而有效穿透绝缘氧化层。
使用“Plus型号”时，无需连接电脑即可直接在实验台上进行测量——只需将样品放入仪器中，然后按下启动键即可。输入样品的尺寸后，便可测量其导电率和电阻率。同时，还能实时获取外接引脚间的电流和电压值，以及内接引脚间的电压数值。
专为高精度而设计
该产品具有多种优异特性：能够确保测量结果的准确性，通过正负极性测量来消除电压偏差；通过处理更大规模的样本，从而减少对校正因素的依赖；同时，借助微米级高度调节功能以及防滑设计，可确保每次测量都能实现良好的电气接触效果。
四点探针测试装置展示*
其他规格参数
物理规格参数
| 四点探针的尺寸（宽×高×深） | 145毫米 x 150毫米 x 240毫米（5.71英寸 x 5.91英寸 x 9.45英寸） | |
|---|---|---|
| 软尖探针 | 尖头探针 | |
|---|---|---|
| 探测点间距 | 1.27毫米（0.05英寸） | 1.6毫米（0.063英寸） |
| 矩形样本大小范围 | 长边的最小尺寸为：5毫米（0.20英寸） 短边的最大尺寸为：152.4毫米（6英寸） | 长边的最小尺寸为：6毫米（0.24英寸） 短边的最大尺寸为：152.4毫米（6英寸） |
| 圆形样品的尺寸范围（直径） | 5毫米 – 152.4毫米（0.20英寸 – 6.00英寸） | 6毫米 – 152.4毫米（0.24英寸 – 6.00英寸） |
| 最大样品厚度 | 8毫米（0.31英寸） | 5毫米（0.2英寸） |
电阻率与电导率范围
当系统测量样品的片阻时，无法给出一个具体的电阻率或电导率的测量范围。因为可测量的电阻率范围取决于被测试样品的厚度。可以通过以下公式，利用样品的片阻和厚度来计算出其电阻率：
该系统能够检测的电阻率/导电率范围为100毫欧姆·米到10兆欧姆·米。因此，当使用上述公式来计算时，如果样品的厚度为50纳米，那么该系统能够检测到的电阻率/导电率范围就是5纳欧姆·米到500毫欧姆·米，相当于2西门子/米到200百万西门子/米。而当样品厚度为400微米时，该系统能够检测到的电阻率/导电率范围则为40微欧姆·米到4千欧姆·米，相当于250微西门子/米到25千西门子/米。下表列出了该系统对于不同厚度样品所能检测到的电阻率/导电率范围：
| 涂层厚度 | 电阻率范围 | 导电率范围 |
|---|---|---|
| 10纳米 | 1纳牛·米 – 100毫牛·米 | 10 S/m – 1 GS/m |
| 100纳米 | 10纳牛·米 – 1牛·米 | 1 S/m – 100 MS/m |
| 1微米 | 100纳牛·米 – 10牛·米 | 100毫西门子/米 – 10毫西门子/米 |
| 10微米 | 1微法拉·米 – 100法拉·米 | 10毫西门子/米 – 1西门子/米 |
| 100微米 | 10微千欧·米 – 1千千欧·米 | 1毫西门子/米 – 10万西门子/米 |
| 1毫米 | 100微千欧·米 – 10千千欧·米 | 100微西门子/米 – 10千西门子/米 |
盒中物品
- 带探头和移动平台的Ossila四点探针
- 集成式源测量单元
- 具备片阻测量功能的嵌入式数据显示功能（仅T2001A5型号具备）
- 60毫米×60毫米（2.36英寸×2.36英寸）的玻璃基材，表面涂有400至450纳米厚的FTO涂层。
- 10千赫兹电阻测试头
- 电源适配器（24伏直流电）
- 带有QC测试报告和QC测试数据的USB驱动程序
- USB-B接口数据线
