OmniVac 大型径向分布系统 UHV-D

大型超高真空（UHV）分配腔室，最多可连接八个（8）超高真空腔室，支持水平传输（适用于粉末）
可扩展为两个或更多超高真空分配腔室（®ESCA 2D）
在传输过程中保持真正的超高真空条件（压力 <1×10⁻⁹ mbar）
快速传输，时间 <45 秒
可传输大尺寸（直径可达 8 英寸）和重样品（>1 公斤）
不同腔室之间无交叉污染
兼容所有 ®UHV L 系列腔室（完全兼容）
可并行运行不同项目，实现高通量
易于维护和维修
资源共享（表面分析、负载锁、样品制备等）
未来扩展或新研究领域的高度灵活性
仅需一个旋转运动馈通装置即可实现旋转、平移和样品传递/拾取

小型径向分配腔室（SD），用于在 5 个腔室之间进行超高真空（UHV）样品传输
快速进入锁-锁腔室（可选配冷却和可拆卸层流或手套箱）
样品存储，最多可容纳六个（6）样品架，其中一个存储位置可加热（可选）
样品制备腔室（最多可配置四层，包括 LEED 端口），配备操纵器、加热和冷却功能
变温扫描探针显微镜（VT-SPM）腔室，具有样品传输、预冷却和加热功能。SPM 可替换为其他设备，例如红外（IR）腔室