OmniVac 线性真空系统 UHV-L

最多三（3）个特高压室的线性特高压系统（加上额外的公园站）
通过齿轮齿条驱动的直线运动馈通进行运输，可选择第二次旋转（适用于垂直机械手）
标准设置表面分析室（ESCA、SIMS、同步加速器末端站等）和负载锁
样品制备室和样品储存可选
完全升级兼容特高压SD和特高压D-所有腔室都可以使用！
泵送系统定制设计，如涡轮分子泵、离子泵、低温泵、TSP等的组合）
应用示例：

SES 2002表面分析室、x射线源和x射线单色仪以及具有隔振功能的高稳定框架
带机械手、加热和冷却的附加制备室以及带隔热功能的框架
一个或最多六个样品架的快速进入样品装载锁
机械式齿轮齿条耦合直线传动（无磁铁，控制良好，可单人操作）