OmniVac 小型径向分布系统 UHV-SD

小型特高压径向分布室，最多可容纳五（5）个特高压室，水平运输（对粉末很重要）
运输过程中的真实特高压条件（p<1×10-9毫巴）
快速传输<45秒
不同腔室之间没有交叉污染（特别是使用高压反应器）
可使用特高压L的所有腔室（完全兼容）

用于在5个室之间进行超高压样品传输的小型径向分布室（SD）
快速进入锁室（可选配冷却和可拆卸层流或手套箱）
最多可储存六（6）个样品架，在一个储存位置加热（可选）
样品制备室（最多四层，包括LEED端口），带机械手、加热和冷却
VT-SPM室，带样品转移、预冷和加热功能。SPM可以被IR室等替代