Novascan紫外臭氧清洗机,Novascan紫外臭氧表面清洗机,Novascan臭氧清洗机
25 年来，Novascan 一直致力于紫外系统的设计，为全球数千名客户提供专业知识、销售及技术支持。为了满足客户多样化的应用需求，Novascan 提供多种尺寸的紫外臭氧表面清洗及表面活化系统，尺寸范围从 100x100mm 到 500x500mm 不等，并配备多种不同类型的数字控制器及选配项。系统提供易于操作的手动版和自动化版供选择。
Novascan紫外臭氧清洗机主要应用：
去除有机污染物：
快速去除硼硅酸盐、砷化镓、ITO、硅片、玻璃、PDMS、AFM探针、聚合物等多种表面的油性有机污染物。
半导体晶圆清洗与表面清洁：
无损清洁各类半导体晶圆（硅晶圆、磷化铟晶圆、砷化镓晶圆、锗晶圆、蓝宝石晶圆等），无需昂贵的高真空系统、湿法工艺或有毒化学品，即可获得最佳效果。
扫描电子显微镜、透射电子显微镜、原子力显微镜及石英晶体微天平应用：
制备并清洁SEM/TEM样品、制备及重复使用AFM探针、清洁QCM传感器，用于高分辨率成像、力测量、化学检测与分析。
玻璃表面清洁：
获得亲水、无菌、洁净的表面，用于细胞培养、显微镜观察、AFM、PDMS微流控键合等应用。
表面改性、表面活化与制备：
活化和增强粘附与键合、润湿性及其他表面特性。
微流控器件：
清洁并制备PDMS和玻璃组件，用于微流控器件的制造与键合。
光刻胶剥离：
使用Novascan的热紫外处理工艺结合纯氧，有效无损地剥离晶圆、硅、氮化硅、硼硅酸盐玻璃及半导体表面的光刻胶残留物。
Novascan紫外臭氧清洗机产品优势：
Novascan PSD、PSDP 及 PSDP-Thermal 系列紫外臭氧表面清洗与活化系统：
Novascan 提供多种台式紫外臭氧清洗机型号、系统尺寸及选配项，以满足您的特定需求和预算要求。
独特的样品台，支持 360 度接触样品以及薄型或高型样品：
Novascan 系统提供我们原有的可变高度样品台，用于设置对处理效果至关重要的紫外灯与样品之间的距离。在我们的可变高度样品台系统中，可处理高达 100mm 的样品。Novascan 还推出了新的经济型低样品固定台系列，可处理高度低于 15mm 的薄型样品，同时保留了原系统所有的优秀特性和优势。
强大的高密度深紫外石英网格灯：
Novascan 系统使用的灯管采用最高品质的深紫外石英材质，灯管间距紧密，可实现最大覆盖均匀性，并针对常见及挑战性材料实现快速增强的表面清洁性能。
高度可升级与可定制的系统：
Novascan 提供多种紫外系统选配项，以满足您当前及未来的应用需求。我们模块化的紫外系统设计使其具备可升级性，因此随着您项目的发展和壮大，您的系统仍能保持强大功能。可添加热紫外等选配项以增强清洗应用，使用更大尺寸的灯管来处理更大样品，或配备臭氧排空器，以便在实验台上安全使用系统而无需通风橱。
多种尺寸系统以满足您的应用需求：
尺寸范围从 100x100mm (4×4 英寸) 到 500x500mm (20×20 英寸)，可匹配您的样品尺寸以及您希望一次处理的样品数量。
固定高度或可变高度系统：
对于晶圆、显微镜载玻片、盖玻片、AFM 探针等，可选择固定高度。可变高度样品台适用于高度最高达 4 英寸 的较高样品，对于紫外热系统则适用于高度最高达 3.5 英寸 的样品。
可靠性：
经过 25 年 验证的高度可靠系统。
Novascan紫外臭氧清洗机主要型号：
| 图片 | 描述 | 特点 |
| PSD 系列仪器 (PSD-UV) 是数控台式系统，提供从 4×4 英寸到 20×20 英寸等多种尺寸。这些系统配备了一套强大的紫外网格系统（含反射镜）以及可调高度的样品台，以实现最佳的样品定位与性能。4×4 英寸及更大尺寸的系统均配有进气/排气口。该系统通过便捷的预设控制器进行操控，操作极为简便。 | 提供经济型、低样品台型号以及我们原有的可变样品台高度型号 易于使用的预设数字控制器 便捷的双按钮操作，简单方便 自动化处理时间：15、30、45、60、90、120 分钟 处理循环可随时手动中断 系统可升级选配热紫外温控样品台等选项，但不如 PSDP 型号那样简便且经济 节省成本且功能实用的设计，使其成为广受欢迎的选择 设置和使用非常简单 |
| PSD Pro 系列 (PSDP-UV) 仪器是研究级紫外/臭氧清洗系统，可为分子有机物剥离及众多其他应用提供最大的多功能性。可在环境空气中运行，或通过两个标准气体端口之一通入氧气以增加臭氧产量。可编程数字控制器负责系统处理，确保精确的时间设定和最佳的清洗参数。 | 提供经济型、低样品台型号以及我们原有的可变样品台高度型号 可编程数字控制器，实现更多操作控制 数字倒计时显示 可轻松升级为温控系统 具备“暂停”和“中断”功能 一款提供增强型过程控制的强大系统 内部存储器，可保存之前的设置 |
| PSD Pro 加热系列 (PSDP-UVT) 通过增加一个温控样品台，将 Pro 系列的性能提升到了一个新的水平，该样品台旨在最大程度地分解分子有机材料。配备 PID 反馈回路的数字控制器可精确维持高达 200°C 的稳定温度（可选 300°C） | 提供经济型、低样品台型号以及我们原有的可变样品台高度型号 与 PSDP 型号相同，但出厂时已预装了温控样品台 提供最大的潜力与灵活性 非常适合多用户环境 |
PSD and PSDP Model 规格：
通用系统特点与信息
紫外网格灯： 产生臭氧的深紫外汞蒸气网格灯，带反射器。半衰期约 5000 小时。Novascan 的灯管不惜成本，采用最高品质、间距紧密的石英管制造，以实现最高的透光率和最均匀的覆盖。
电子元件： Novascan 紫外系统专为长期可靠性而设计，我们的许多紫外臭氧系统在运行 10 年或更长时间后仍能完全正常运行。我们使用更高质量的组件，例如超强大且可靠的线性电源，而非廉价的开关电源。虽然制造成本更高，但 Novascan 相信，为了可靠性和安全性，使用经过 NTRL 认证的数字控制器、继电器、电源输入口和其他组件至关重要。所有系统均在美国组装。
模块化可升级设计： Novascan 的使命是构建能够支持客户不断变化的应用和实验室需求的系统。因此，我们的设计高度模块化，允许将来升级到不同的灯管尺寸、添加选配项以及进行设计更新。
支持： 所有 Novascan 系统都得到 Novascan 无与伦比的支持体系的保障，该体系由硕士和博士级别的科学家及技术人员组成。
热紫外系统： 增强且更快的处理，适用于光刻胶剥离、聚合物键合等，最高温度可达 200°C（可选 300°C）。
双面紫外系统： 可选配的顶部和底部灯管，用于同时对样品的两面进行处理。
臭氧排空器选配项： 臭氧中和器/消除器，配备 PTFE 真空泵系统，用于在紫外处理循环完成后去除残留臭氧。该装置允许您在实验台上安全操作紫外臭氧系统，而无需使用化学通风橱。还提供自动臭氧排空功能。
电源： 100、120、220、240 VAC，50-60 赫兹。
安全： 当腔室打开时，安全联锁装置会关闭紫外灯。
样品高度： 所有系统均配备可调高度样品台和外部样品台锁定装置，以确保样品与灯管之间保持适当的距离。标准样品台尺寸等于或大于紫外网格尺寸。
气体端口： 标配两个端口，可选更多端口。
真空腔室： 可选特殊定制 – 铝制和石英制造。
紫外反射器： 紫外反射器通常比网格尺寸大 1 英寸。例如，对于 4×4 英寸的网格，反射器为 5×5 英寸。
电源： 100、120、220、240 VAC，50-60 赫兹。
样品装载： 腔室向上并远离样品装载区翻开，允许约 360 度的装载接触空间。
双面紫外： 可选配的顶部和底部灯管，用于同时对样品的两面进行处理。
