美国Novascan PSDP UV1616T紫外线臭氧表面清洁机带温控台臭氧净化装置
PSD Pro 加热系列
PSD Pro 加热系列 (PSDP-UVT) 将 Pro 系列的功能提升到一个新的水平,增加了一个温控台,旨在最大限度地破坏有机分子材料。带有PID反馈回路的数字控制器可准确保持高达200摄氏度的稳定温度。(可选配 300C。
美国Novascan PSDP UV1616T紫外线臭氧表面清洁机带温控台特征
臭氧清洗机产品优势
Novascan PSD、PSDP 和 PSDP-Thermal 系列紫外线臭氧表面清洁和表面活化系统:
Novascan 提供多种台式紫外线臭氧净化器型号、系统尺寸和选项,以满足您的特定需求和预算要求。
独特的样品台,允许 360 度样品访问和薄或高样品:
Novascan 系统提供我们独创的可变高度载物台,用于将治疗关键紫外线灯设置为样品距离。高度达 100 毫米的样品可以在我们的可变载物台高度系统中进行处理。Novascan还提供了一个新的经济高效的低样品固定载物台系列,使您能够处理高度小于15mm的薄样品,同时仍然结合我们原始系统的所有强大功能和优势。
强大的高密度深紫外石英网格灯:
Novascan 系统使用具有最高质量深紫外石英的灯,这些灯间隔很近,可实现最大覆盖均匀性和快速增强的表面清洁性能,适用于常见和具有挑战性的材料。
高度可升级和可定制的系统:
Novascan现在提供大量UV系统选项来满足您的应用要求。以及未来。我们的模块化紫外线系统设计允许它们可升级,因此您的系统可以随着项目的发展和发展而保持功能。添加诸如用于增强清洁应用的热紫外线、用于更大样品的更大灯或臭氧真空器等选项,以便您可以在台式上而不是在通风橱中安全地使用您的系统。
多种尺寸的系统可满足您的应用要求:
尺寸范围从 100×100 毫米(4x4 英寸)到 500×500 毫米(20×20 英寸),以匹配您的样品大小和您一次要处理的样品数量。
固定或可变高度系统:
为晶圆、显微镜载玻片、盖玻片、AFM 探针等选择固定高度。可变高度样品台可用于高度达 4 英寸的较高样品,或高度达 3.5 英寸的紫外热系统。
可靠性:
经过超过 25 年验证的高可靠性系统。
美国Novascan PSDP UV1616T紫外线臭氧表面清洁机带温控台臭氧净化装置应用
去除并去除有机污染物:
快速去除各种表面和材料(如硼硅酸盐、砷化镓、ITO、硅片、玻璃、PDMS、AFM 探针、聚合物等)上的油性有机污染物。
半导体晶圆清洗和表面清洗:
无损表面清洁所有类型的半导体晶圆(硅晶圆、磷化铟 (InP) 晶圆、砷化镓 (GaAs) 晶圆、锗 (Ge) 晶圆、蓝宝石晶圆等,无需昂贵的高真空系统或湿法工艺或有毒化学品即可获得最佳效果。
扫描电子显微镜、透射电子显微镜、原子力显微镜和石英晶体微量天平应用:
制备和清洁 SEM / TEM 样品,制备和重复使用 AFM 探针以及清洁 QCM 传感器,用于高分辨率成像、力测量、化学检测和分析。
玻璃表面清洁:
实现亲水、无菌、原始表面,适用于细胞培养、显微镜、AFM、PDMS 微流控键合和其他应用。
表面改性、表面活化和制备:
激活和增强附着力和粘合性、润湿性和其他表面特性。
微流控器件:
清洁和准备用于微流体制造和粘合的 PDMS 和玻璃组件。
光刻胶剥离:
使用 Novascan 的纯氧热紫外线处理工艺,有效无损剥离晶圆、硅、氮化硅、硼硅酸盐玻璃和半导体表面的光刻胶残留物。