Novascan Technologies PSD, PSDP, PSDP-UVT紫外线臭氧表面清洁和表面活化系统
NOVASCAN已经设计紫外线系统超过25年,并为来自世界各地的成千上万的客户提供专业知识、销售和支持。为了满足客户多样的应用需求,NOVASCAN提供多种尺寸的紫外线臭氧表面清洁和表面活化系统,尺寸范围从100x100mm到500x500mm,具有多种不同的数字控制器类型和选项。系统有易于操作的手动和自动化版本
产品优势
Novascan PSD、PSDP和PSDP-Thermal系列紫外线臭氧表面清洁和表面活化系统:
Novascan 提供多种台式 UV 臭氧清洁器型号、系统尺寸和选项,以满足您的具体需求和预算要求。
独特的样品台,允许360度样品访问和薄或高的样品:
Novascan系统提供我们原创的可调高度载物台,用于设定治疗关键的紫外线灯与样品的距离。样品高度可达100毫米,可使用我们的可调高度系统进行处理。Novascan还提供一种新的、具有成本效益的低样品固定载物台系列,允许您处理高度小于15毫米的薄样品,同时仍然具备我们原创系统的所有出色功能和优势。
强力高密度深紫外线石英格栅灯:
Novascan系统使用最高质量的深紫外线石英灯,这些灯紧密排列,以实现最大的覆盖均匀性和快速增强表面的清洁性能,适用于常见及具有挑战性的材料。
高度可升级和定制的系统:
Novascan提供多种UV系统选项,以满足您当前和未来的需求。我们的模块化UV系统设计允许它们升级,使您的系统能够随着项目的演变和扩展而保持能力。增加诸如Thermal UV(用于增强清洁应用)、更大灯管以处理更大样品或臭氧抽气机等选项,以便您可以安全地将系统在台式上使用,而不是在通风柜中使用。
多种尺寸系统以满足您的应用需求:
尺寸范围从100x100mm(4×4英寸)到500x500mm(20×20英寸),以匹配您的样品尺寸以及您希望一次处理的样品数量。
固定或可变高度系统:
选择晶圆、显微镜载玻片、盖玻片、AFM探针等的固定高度。提供可变高度的样品台,用于高度达4英寸的较高样品,或用于UV Thermal系统的高度达3.5英寸的样品。
可靠性:
经过25年以上的验证的高可靠系统。
Novascan PSD、PSDP和PSDP-Thermal系列紫外线臭氧表面清洁和表面活化系统应用程序
去除和清除有机污染物:
快速去除各种表面和材料上的油性有机污染物,例如硼硅酸盐、砷化镓、ITO、硅片、玻璃、PDMS、AFM探针、聚合物等。
半导体晶圆清洗和表面清洗:
非破坏性地对各种类型的半导体晶圆(硅晶圆、磷化铟(InP)晶圆、砷化镓(GaAs)晶圆、锗(Ge)晶圆、蓝宝石晶圆等)进行表面清洁,以获得最佳效果,无需昂贵的高真空系统、湿法工艺或有毒化学药品。
扫描电子显微镜、透射电子显微镜、原子力显微镜和石英晶体微天平应用:
准备和清洁SEM / TEM样品,准备和重复使用AFM探针以及清洁QCM传感器,以进行高分辨率成像、力测量、化学检测和分析。
玻璃表面清洁:
实现亲水性、无菌、原始表面,用于细胞培养、显微镜、AFM、PDMS微流体粘接及其他应用。
表面改性、表面活化及制备:
激活并增强粘附和结合、润湿性和其他表面特性。
微流控设备:
清洁并准备用于微流控制造和粘接的PDMS和玻璃组件。
光刻胶去除:
使用Novascan的热紫外线处理工艺和纯氧,有效且无损地去除晶圆、硅、氮化硅、硼硅酸盐玻璃和半导体表面的光刻胶残余物。
