产品优势

Novascan PSD、PSDP 和 PSDP-Thermal 系列 UV 臭氧表面清洁与表面活化系统：

Novascan 提供多种台式 UV 臭氧清洗机型号、系统尺寸及配置选项，可满足不同应用需求和预算要求。

独特样品台设计，实现 360°样品访问以及薄/高样品处理：

Novascan 系统采用自主设计的可变高度样品台（Variable Height Stage），用于调节处理过程中关键的 UV 灯管与样品之间的距离。

可变高度系统可处理高度最高达 100 mm 的样品。

此外，Novascan 还提供经济型低样品固定高度系列（Low Sample Fixed Stage Series），适用于高度低于 15 mm 的薄型样品，同时保留原系统的大部分功能和优势。

高功率高密度深紫外石英网格灯：

Novascan 系统采用高品质深紫外石英灯，灯管间距紧密排列，可实现最大范围覆盖、更高的均匀性以及更快速、更高效的表面清洁性能，适用于普通材料以及难处理材料。

高度可升级和可定制系统：

Novascan 提供多种 UV 系统选项，可满足当前及未来不断变化的应用需求。

模块化 UV 系统设计支持后续升级，使系统能够随着项目发展和需求增长持续保持性能。

可增加以下选项：

• Thermal UV 热辅助 UV 功能，用于增强清洁效果；
• 更大尺寸灯管，用于处理更大样品；
• 臭氧排放装置（Ozone Evacuator），使系统可以安全地在实验台上使用，而无需放置于通风橱中。

多种系统尺寸，满足不同应用需求：

系统尺寸范围：

• 最小：100 × 100 mm（4 × 4 英寸）
• 最大：500 × 500 mm（20 × 20 英寸）

可根据样品尺寸以及一次处理的样品数量进行选择。

固定高度或可变高度系统：

• 固定高度系统：
  适用于晶圆、显微镜载玻片、盖玻片、AFM 探针等薄型样品。
• 可变高度样品台：
  可处理高度最高达 4 英寸（约100 mm）的样品；
  UV Thermal 系统可处理最高约 3.5 英寸（约89 mm）的样品。

可靠性：

经过超过 25 年应用验证的高可靠性系统。

应用领域

去除和剥离有机污染物：

快速去除各种表面和材料上的油性有机污染物，例如：

• 硼硅玻璃（Borosilicate）
• 砷化镓（GaAs）
• ITO
• 硅晶圆（Silicon wafers）
• 玻璃
• PDMS
• AFM 探针
• 聚合物材料等

半导体晶圆清洁和表面清洗：

可对各种半导体晶圆进行无损表面清洁，包括：

• 硅晶圆（Si）
• 磷化铟晶圆（InP）
• 砷化镓晶圆（GaAs）
• 锗晶圆（Ge）
• 蓝宝石晶圆（Sapphire）

无需昂贵的高真空设备、湿法工艺或有毒化学品，即可实现高质量表面清洁。

扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM）、原子力显微镜（AFM）及石英晶体微天平（QCM）应用：

用于：

• SEM / TEM 样品制备和清洁；
• AFM 探针清洁和重复使用；
• QCM 传感器清洁；

提升高分辨率成像、力测量、化学检测和分析效果。

玻璃表面清洁：

实现亲水、无菌、高洁净度玻璃表面，适用于：

• 细胞培养；
• 显微镜观察；
• AFM 分析；
• PDMS 微流控键合；
• 其他相关应用。

表面改性、表面活化及预处理：

用于：

• 提升表面活性；
• 增强粘附性能；
• 改善键合效果；
• 提高润湿性；
• 优化其他表面特性。

微流控器件：

用于清洁和处理：

• PDMS 组件；
• 玻璃组件；

为微流控器件制造和键合提供理想表面条件。

光刻胶去除：

Novascan Thermal UV 热辅助处理工艺结合纯氧气环境，可有效、无损地去除：

• 晶圆上的光刻胶残留；
• 硅（Si）表面；
• 氮化硅（Si₃N₄）表面；
• 硼硅玻璃；
• 半导体材料表面的光刻胶污染。

技术规格：Novascan UV 臭氧清洁产品

针对 PSD、PSDP 和 PSDP-UVT UV 清洗系统，提供多种有价值的选配功能，可根据您的具体应用需求对系统进行定制。

请查看以下各产品系列的功能特点及可选配置。

PSD 系列

PSD 系列仪器（PSD-UV）是采用数字控制的台式 UV 臭氧清洁系统，提供从 4×4 英寸至 20×20 英寸 多种尺寸规格。

该系列系统配备高功率 UV 网格灯系统，带有反射器以及可调高度样品台，可实现最佳样品定位和处理效果。

4×4 英寸及以上尺寸的系统可提供气体进/出口接口（In/Out Gas Ports）。

系统通过便捷的预设控制器进行操作，使使用过程更加简单方便。

特点

• 提供经济型低样品台（Low Sample Stage）型号，以及 Novascan 原始可变高度样品台（Variable Stage Height）型号。
• 易于使用的预设数字控制器。
• 便捷的双按键操作方式，简单直观。
• 自动化处理时间设置：
  • 15 分钟
  • 30 分钟
  • 45 分钟
  • 60 分钟
  • 90 分钟
  • 120 分钟
• 处理循环过程可随时手动中断。
• 系统可通过选配功能进行升级，例如增加 Thermal UV 温控样品台，但相比 PSDP 系列，升级过程不够简单且成本效益较低。
• 经济实用的设计，在降低成本的同时保持良好功能，是该系统广受欢迎的原因。
• 设置简单，操作方便。