Novascan,PSD-UV,台式紫外臭氧清洗机,用于电子、半导体、光学和科学行业
PSD标准系列和PSDP Pro系列的数字控制仪器设计用于电子、半导体、光学和科学行业的应用。汞蒸汽灯生成紫外光和臭氧，从而实现硅、氮化硅、玻璃、金属、陶瓷及其他材料的原子级清洁。PSD和PSDP也可以用于紫外固化、紫外图案化、AFM探针的锐化、臭氧刻蚀等。
PSDP Pro系列仪器提供额外的数字控制，并可以升级为PID加热台系统。PSD标准仪器提供方便易用的数字预设控制，性价比高。
PSD标准和PSDP Pro系统的尺寸范围从适合AFM探针和显微镜载玻片的4×4英寸UV系统，到能够处理多个晶圆或LCD面板的大型12×16英寸UV系统。
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特点
- PSD和PSDP去除有机污染物
- UV灯产生185nm和254nm的紫外光
- 产生O3并提供分子激发
- 在大气压力下使用环境空气或氧气运行
- 多个气体端口用于引入气体
- 样品台具有可调节的样品与灯之间的距离
- 配有安全开关以防止用户暴露于紫外光下
- 操作简单，体积小巧
- 一流的技术支持和客户服务
适用基材
- 硅
- 砷化镓
- 玻璃
- 石英
- 云母
- 蓝宝石
- 金属
- 陶瓷
- 聚合物
- 抗蚀剂
常见紫外/臭氧应用
- AFM探针清洁/探针锐化
- 半导体表面氧化和准备
- 清洁镜头和光学元件
- 改善表面润湿性
- 清洁石英和陶瓷表面
- 薄膜沉积前的准备
- 紫外固化
- 表面图案化
- 臭氧刻蚀
