Novascan,PSDP-UVT,台式紫外线清洗机,配备加热样品台
PSDP-UVT – 台式紫外线清洁机配备加热样品台
PSDP-UVT Pro 系列结合了 PSD 和 PSDP UV 系统的优点，并通过 PID 控制的加热样品台增强了热辅助紫外线处理功能。PSDP-UVT 热辅助系统适用于广泛的应用，例如热增强的紫外线固化、紫外线图案化、晶圆清洁、热增强的光刻胶剥离、热增强的 PDMS 粘合、制造和微流控技术、AFM 探针清洁、热增强的臭氧蚀刻等。PSDP-UVT 系统常用于电子、半导体、光学、材料科学、生物学、化学、制药、生物传感器和纳米技术等行业。
PSDP-UVT 系列添加的热辅助紫外线功能提升了清洁、剥离、氧化、化学反应和催化过程的效果。
PSDP-UVT Pro 系统的尺寸范围从适用于较小样品（如 AFM 探针和显微镜载玻片）的 4×4 英寸 UV 系统，到可以处理多个晶圆或 LCD 面板的大型 12×16 英寸 UV 系统。更大的系统可通过定制订单提供。
有关 UV 清洁机型号、样品尺寸和系统价格的信息，请填写本页面底部的“联系我们”部分。
特点：
- 热辅助紫外线处理，用于增强清洁、化学改性、催化反应、热退火、薄膜应用、光刻胶剥离等
- 数字控制的加热样品台，温度最高可达 200°C
- UV 灯发出 185nm 和 254nm 的紫外线
- 在大气压力下使用，适用于环境空气或氧气
- 多个气体端口用于气体引入
- 可调样品与灯之间的距离
- 安全开关防止用户暴露于紫外线下
- 操作简单，占地面积小
- 一流的技术支持和客户服务
适用基材：
- 硅
- 砷化镓
- 玻璃
- 石英
- 云母
- 蓝宝石
- 金属
- 陶瓷
- 高分子
- 光刻胶
常见 UV/臭氧应用：
- AFM 探针清洁 / 尖端锐化
- 半导体表面氧化和预处理
- 清洁镜头和光学器件
- 改善表面润湿性
- 清洁石英和陶瓷表面
- 薄膜沉积准备
- 紫外线固化
- 表面图案化
- 臭氧蚀刻
- 热辅助紫外线 O3 退火
https://www.bihec.com/novascan/PSDP-UVT/
