Novascan,PSDP-UVT,台式紫外线清洗机,配备加热样品台,用于电子、半导体、光学、材料科学、生物学、化学、制药、生物传感器和纳米技术等行业

Novascan,PSDP-UVT,台式紫外线清洗机,配备加热样品台

PSDP-UVT – 台式紫外线清洁机配备加热样品台

PSDP-UVT Pro 系列结合了 PSDPSDP UV 系统的优点,并通过 PID 控制的加热样品台增强了热辅助紫外线处理功能。PSDP-UVT 热辅助系统适用于广泛的应用,例如热增强的紫外线固化紫外线图案化晶圆清洁热增强的光刻胶剥离热增强的 PDMS 粘合制造和微流控技术AFM 探针清洁热增强的臭氧蚀刻等。PSDP-UVT 系统常用于电子、半导体、光学、材料科学、生物学、化学、制药、生物传感器和纳米技术等行业。

PSDP-UVT 系列添加的热辅助紫外线功能提升了清洁、剥离、氧化、化学反应和催化过程的效果。

PSDP-UVT Pro 系统的尺寸范围从适用于较小样品(如 AFM 探针和显微镜载玻片)的 4×4 英寸 UV 系统,到可以处理多个晶圆或 LCD 面板的大型 12×16 英寸 UV 系统。更大的系统可通过定制订单提供。

有关 UV 清洁机型号、样品尺寸和系统价格的信息,请填写本页面底部的“联系我们”部分。

特点:

  • 热辅助紫外线处理,用于增强清洁、化学改性、催化反应、热退火、薄膜应用、光刻胶剥离等
  • 数字控制的加热样品台,温度最高可达 200°C
  • UV 灯发出 185nm 和 254nm 的紫外线
  • 在大气压力下使用,适用于环境空气或氧气
  • 多个气体端口用于气体引入
  • 可调样品与灯之间的距离
  • 安全开关防止用户暴露于紫外线下
  • 操作简单,占地面积小
  • 一流的技术支持和客户服务

适用基材:

  • 砷化镓
  • 玻璃
  • 石英
  • 云母
  • 蓝宝石
  • 金属
  • 陶瓷
  • 高分子
  • 光刻胶

常见 UV/臭氧应用:

  • AFM 探针清洁 / 尖端锐化
  • 半导体表面氧化和预处理
  • 清洁镜头和光学器件
  • 改善表面润湿性
  • 清洁石英和陶瓷表面
  • 薄膜沉积准备
  • 紫外线固化
  • 表面图案化
  • 臭氧蚀刻
  • 热辅助紫外线 O3 退火
Novascan,PSDP-UVT,台式紫外线清洗机,配备加热样品台
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https://www.bihec.com/novascan/PSDP-UVT/


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