Novascan紫外线臭氧原子清洁表面和热紫外线臭氧清洁系统

消除苛刻的等离子体,酸,化学蚀刻,以实现亲水性原子清洁表面,UV臭氧清洁晶圆,玻璃,硅,UV键,氧化,清洁SEM TEMAFM样品和探针,键合PDMS,幻灯片盖等。

PSD, PSDP和热系列紫外线臭氧清洁剂:用于Átomically清洁表面,紫外线氧化,紫外线杀菌和紫外线热处理

介绍:PSD, PSDP和热系列紫外臭氧清洗机

Novascan的UV – UV臭氧清洗剂广泛应用于工业,生产和学术实验室,用于UV清洁半导体晶圆,制造过程中的UV清洁LCD表面,去除和去除光刻胶,改善表面润湿性,UV清洁AFM探针/尖端,UV清洁SEM和TEM样品,UV聚合物活化,PDMS/玻璃微流控装置的组装/粘合,UV清洁玻璃和许多其他UV臭氧清洁和氧化应用。(以下是典型应用的列表。)

Novascan UV臭氧清洁剂已被证明是非常有效的非酸性,干燥,非破坏性的原子清洁和去除有机污染物使用强烈的185 nm和254 nm紫外线。在氧气存在的情况下,185线产生臭氧,而254线激发表面的有机分子。这种组合驱动了有机污染物的快速破坏和大量减少。

为了进一步加强处理,PSDP-UVT紫外线臭氧清洁剂利用紫外线臭氧和热阶段,通过提高样品表面的能量状态,并通过驱动可以阻止氧化的湿度层,以达到更积极的效果。

如下图所示,AFM用于记录使用简单的室内空气作为氧气源(纯氧气可用于更可控和更积极的处理)的暴露时间对厚有机污染物的去除。此外,接触角实验表明,紫外线臭氧处理后表面润湿性显著改善。

阅读更多关于:

  • PSD和PSPD系列紫外线清洁剂-高性能紫外线臭氧清洁剂:紫外线臭氧清洗系统,4×4“至12×16”…或更大的特殊订单。
  • **用于晶圆片和其他表面的顶部和底部双灯紫外线清洁系统。请查询。
  • PSDP-UVT系列热紫外臭氧清洗机:具有加热级和PID温度控制的UV臭氧清洗系统

案例研究1:“新”玻片和盖盖表面通常在开箱后不干净。使用Novascan UV臭氧清洁剂,只需室内空气,即可轻松快速地将表面清洁到原子水平。

Wetability of a new glass coverslip before UV Ozone cleaner treatment

Wetability of a new glass coverslip after UV Ozone Cleaner treatment

案例研究2:使用NovascanUV臭氧清洗机进行原子清洗前后受污染玻璃载玻片表面的AFM研究(注意,最后一张AFM图像中的数据是自动缩放的,以显示玻璃颗粒)

Atomic Force Microscope image of a contaminated glass microscope slide coverslip prior to UV Ozone cleaning

Atomic Force Microscope image of a contaminated glass microscope slide coverslip after 10 minutes UV Ozone cleaning

Atomic Force Microscope image of a contaminated glass microscope slide coverslip after 20 minutes UV Ozone cleaning

Novascan紫外线臭氧清洁剂:常用材料

  • 紫外线清洁玻璃
  • 紫外线清洁硅
  • 紫外线清洁砷化镓
  • UV清洁ITO
  • UV清洁石英
  • 紫外线清洁云母
  • UV清洁蓝宝石
  • 紫外线氧化金属
  • UV清洁陶瓷
  • UV激活聚合物和交联聚合物
  • UV条光抗蚀剂/光抗蚀剂
  • UV清洁晶圆片
  • 紫外线清洁生产线LED显示屏
  • UV清洁玻璃载玻片和玻璃盖
  • UV清洁金表面
  • UV清洁铂表面
  • UV激活PDMS用于微流体组件

Novascan紫外线臭氧清洁剂:常用应用

  • 使用紫外臭氧原子清洁半导体硅晶圆
  • 消除对人体和环境有害的酸洗和化学浴清洗方法
  • 使疏水表面更亲水
  • 快速和简单的方法清洁AFM, SEM和TEM样品,表面和探针UV臭氧
  • 原子清洁玻璃侧面和盖子
  • 细胞培养及细胞粘附表面制备
  • 力谱学研究的准备
  • 半导体表面UV氧化及制备
  • 用于制造LED显示屏
  • 清洁敏感镜片和光学元件
  • 增加表面润湿性后,紫外线臭氧清洗
  • 增强油漆、涂料、胶水和粘合剂的附着力
  • 紫外线臭氧清洗石英和陶瓷表面
  • UV臭氧改善薄膜沉积质量
  • 紫外线(UV)固化和交联的聚合物和粘合剂
  • UV表面图案化
  • UV蚀刻和表面UV氧化
  • 一种有效的、非破坏性的、非真空的等离子清洁替代品
  • UV臭氧清洗剂用于烷硫醇、APTES、硅烷化等表面化学的制备
  • 紫外臭氧热处理

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