Novascan紫外臭氧清洗机PSD系列是数字控制的台式系统，尺寸从4×4英寸到20×20英寸不等。Novascan PSD臭氧清洗机采用强大的UV格栅系统，配备反射器和可调节高度的样品台，以实现最佳的样品定位和性能。4×4英寸及以上系统配备进出气体口。系统由方便的预设控制器控制，操作简便。
Novascan紫外臭氧清洗机PSD系列是研究级的紫外臭氧清洗系统，具有优秀的灵活性，能满足有机分子去除和其他众多的应用。可以直接在空气中操作，或是通过其中一个进气口通入氧气来增加臭氧产生。可编程数字控制器可以控制系统进程，来确保精确时间和优化清洗参数。
•可编程数字控制器
•数字显示倒计时
•轻松升级到热盘选项
•可执行暂停和终止指令
•内部存储器用于记录之前的参数设置
一个强大的系统，提供了增强的进程控制！
Novascan紫外臭氧清洗机PSD系列主要特点：
– 提供经济实惠的低样品台模型和原始的可变高度样品台模型
– 易于使用的预设数字控制器
– 便捷的两个按钮操作，方便简单
– 自动化的15、30、45、60、90、120分钟处理时间
– 处理周期可以随时手动中断
– 系统可以通过选项升级，如热紫外温度台，但不像PSDP型号那样易于操作和经济实惠
– 节省成本但功能齐全的设计使该系统成为热门选择
– 设置和使用非常简单
Novascan紫外臭氧清洗机PSD系列介绍：
电 源：100.120.220.240VAC.50-60周期。
样品高度：所有系统都配置可调节高度的样品台，调节灯与样品之间的间距，并带位置锁定，标准样品台尺寸为UV格栅灯大小或更大。
UV格栅灯：产生臭氧的低压汞格栅灯，带反射罩。灯管寿命大约为5000小时。
UV反射罩：UV反射罩一般比UV格栅灯大一英寸。比如4×4英寸灯管反射罩尺寸是5×5英寸。
样品放置：打开清洗腔上盖，露出样品台，允许360度装入样品。
安全装置：当清洗腔打开时，系统安全锁会关掉UV灯。
进出气口：标准配置2个气接口，可选更多。
反应腔：选项客户化定制，铝或石英材料。
臭氧中和器：中和器用于臭氧排除。（PSD和PSDP选项）
工作原理：PSD系列产品通过产生185nm和254nm高强度UV光分解有机分子（污染物）。185nm的光可以将氧分子O2转变成活性的O3臭氧分子。254nm的光同时激发表面的有机分子，使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在时间短并且同时也被254nm光分解，样品台可以调节样品到灯管的距离来优化性能。PSD和PSDP分解有机污染物，然后形成CO2和H2O蒸气，同时也将臭氧分子转变成氧分子。
Novascan紫外臭氧清洗机主要型号：
Novascan紫外臭氧清洗机PSD系列应用领域：
1. 去除有机污染物：快速去除各种表面和材料上的油性有机污染物，如硼硅玻璃、砷化镓、ITO、硅晶片、玻璃、PDMS、原子力显微镜探针、聚合物等。
2. 半导体晶圆清洁和表面清洁：对各种类型的半导体晶圆（硅晶片、磷化铟（InP）晶圆、砷化镓（GaAs）晶圆、锗（Ge）晶圆、蓝宝石晶圆等）进行非破坏性表面清洁，以获得最佳结果，无需昂贵的高真空系统、湿法处理或有毒化学品。
3. 扫描电子显微镜、透射电子显微镜、原子力显微镜和石英晶体微量天平应用：准备和清洁SEM/TEM样品，准备和重复使用AFM探针，清洁QCM传感器，用于高分辨率成像、力测量、化学检测和分析。
4. 玻璃表面清洁：为细胞培养、显微镜、原子力显微镜、PDMS微流体粘接等应用实现亲水性、无菌、洁净的表面。
5. 表面改性、表面活化和预处理：激活和增强粘接和结合、润湿性和其他表面性质。
6. 微流控器件：清洁和准备PDMS和玻璃组件，用于微流控器件的制造和粘接。
7. 光阻剥离：使用Novascan的热紫外处理工艺与纯氧，有效地非破坏性地从晶圆、硅、氮化硅硅、硼硅玻璃和半导体表面去除光阻残留物。
