美国Nonsequitur Ion Gun 1450高能离子枪5keV 至 50keV
Nonsequitur Ion Gun 1450高能离子枪特点：
光斑尺寸可调 ≥ 5um，用于空间定义的溅射或注入
发射调节轰击提供稳定的离子电流
连续可变光束能量 5kV 至 50kV
用于光束扫描和像散校正的双八极杆
用于减小光斑尺寸的物镜前扫描
无需将细丝直接连接到样品视线，以避免样品污染
客户可更换的细丝和光束修整孔径
双线材可在线材使用寿命结束时提供运行备份
制造中使用的所有 UHV 兼容和抗蚀刻材料
差速泵送，以最大限度地减少主室气体负荷
在惰性气体和氮气范围内运行
Nonsequitur Ion Gun 1450高能离子枪性能：
Mode | 光斑尺寸 （μm FWHM） | Beam Current | Current Density (A/cm²) |
|---|---|---|---|
Large Spot | 25 | 20µA | 4 |
Medium Spot | 8 | 5µA | 10 |
Small Spot | 5 | 500nA | 2.5 |
Nonsequitur Ion Gun 1450高能离子枪控制器规格：
元件 | 描述 |
|---|---|
输入功率 | 115/230VAC 50/60Hz 自动选择 |
光束能量 | 0-50,000V，1mA |
对焦、聚光镜 | 0-40,000V，1mA |
灯丝功率 | 辐射调节，5V，最大 5A |
电离 | 电子加速电压和发射软件可选 |
离子萃取 | 0-2500V 软件可选 |
挠度 | +X、-Y、+Y 和 -Y 的 +/-400VDV 电源。其余八极元件由电阻分压器网络供电。可选的 8 通道偏转电源，具有像散校正和二次电子成像功能 |
联 锁 | 系统和辅助联锁装置 |
用户界面 | 基于 USB 的图形用户界面 |
机箱尺寸 | 483（宽） x 267（高） x 435（深） 毫米。19 英寸机架安装机箱 6U 高 |
