Nonsequitur 离子枪离子源 Ion Guns Model 1407 设计特点
- 紧凑型离子源，双等离子发射器
- 可调节的束斑， ≥ 15µm ，用于空间定义的溅射
- 可调节发射，提供稳定的束流，前面板可调动态范围 x300
- 连续可变电子束能量，最高达 5keV
- 用于电子束扫描和校正的双电极
- 用于减小束斑大小的预目标透镜偏转
- 集成束流大小监测
- 灯丝不直接到样品，避免不必要的样品污染
- 可更换电子束修剪孔径板，典型使用寿命> 500 hours
- 提供双灯丝备份
- 内部源压力传感器，允许监控离子源压力
- 采用适合超高真空和耐蚀刻的材料
- 差速泵，以尽量减少主腔室气体负载
- 在惰性气体下运行
