Nonsequitur 1402低能量离子枪,连续可变光束能量高达 5keV
Nonsequitur Technologies 1402 型离子枪具有在极低光束能量下具有高光束电流的特点。它也可以在高光束能量（高达 5keV）下运行，以提供额外的深度剖析和样品清洁能力。可能的应用包括电荷补偿、离子散射和离子/固体相互作用的研究。
Nonsequitur Technologies离子产生是通过双灯丝的电子碰撞电离实现的，无需打破系统真空即可延长离子源寿命。细丝位于离轴位置，以防止细丝材料在视线上沉积到样品上。
Nonsequitur 1402低能量离子枪特点：
高亮度电子碰撞源，可最大程度地去除散装材料
发射调节轰击提供稳定的离子电流，前面板可调节动态范围 x300
连续可变光束能量高达 5keV
可更换光束调整孔径，典型使用寿命为 > 500 小时
双线材提供运行备份，典型的线材使用寿命> 500 小时
制造中使用的所有 UHV 兼容和抗蚀刻材料
差压泵送，以最大限度地减少主室气体负荷
可在惰性气体种类范围内运行，氧气和可选的 Thoria 灯丝
Nonsequitur 1402低能量离子枪规格：
元件 | 描述 |
|---|---|
工作距离 | 20 毫米 |
光束能量 | 10eV 至 5keV 连续可变 |
栅格大小 | 7 x 7 毫米（最小） |
安装法兰 | 70 毫米（2.75 英寸）外径 CF |
差速泵送 | 70 毫米（2.75 英寸）外径 CF |
供气入口 | 34 毫米（1.33 英寸）外径 CF |
源气 | He， Ne， Ar， Kr， Xe |
烘烤温度 | 最高 100 °C |
Nonsequitur 1402低能量离子枪性能：
能源 | 光斑尺寸 （μm FWHM） | 束流 （μA） | 电流密度 （mA/cm²） |
|---|---|---|---|
100 eV | 1000 | 2 | 0.25 |
500 eV | 1000 | 4 | 0.5 |
1kV | 750 | 5 | 1.1 |
3kV | 400 | 8 | 4 |
